[实用新型]一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置

权利要求书

1.一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置，其特征在于：具有熔炼坩埚，熔炼坩埚的侧壁和底板之间的连接角设有向内的倾斜面，倾斜角度为45°-60°。

2.如权利要求1所述的提高电子束熔炼多晶硅效率的装置，其特征在于：熔炼坩埚下方连接熔炼坩埚翻转轴。

3.如权利要求1所述的提高电子束熔炼多晶硅效率的装置，其特征在于：熔炼坩埚的冷却水路分为侧壁水路与底部水路共两路，侧壁水路采用螺旋式水路结构，单路水道，冷却水由底部进入，由顶部流出；底部水路采用螺旋水路结构，冷却水由坩埚底部通入坩埚内部，通过循环流动从坩埚侧边流出。

4.如权利要求1所述的提高电子束熔炼多晶硅效率的装置，其特征在于：所述提高电子束熔炼多晶硅效率的装置还包括送料机构、炉体、电子枪、熔炼坩埚、凝固坩埚；送料结构连接在炉体的上端，炉体的一侧与吸真空结构相连，上方为电子枪，向下发射电子束，电子枪与吸真空结构相连；炉体内、电子束照射方为熔炼坩埚，熔炼坩埚的后端位于送料机构的送料口下方，导液口端位于凝固坩埚的开口上方；凝固坩埚设于炉体底部。

5.如权利要求4所述的提高电子束熔炼多晶硅效率的装置，其特征在于：所述炉体的一侧的吸真空结构为依次连接的机械泵Ⅰ、罗茨泵Ⅰ、扩散泵，扩散泵的端部与炉体相连；电子枪一侧的吸真空结构为依次连接的分子泵、罗茨泵Ⅱ、机械泵Ⅱ，分子泵的端部与电子枪相连，构建电子束熔炼所需要的真空条件；炉体的一侧设有充气阀。