[实用新型]一种提高机械手载重的PECVD设备有效
| 申请号： | 201821676700.2 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN209227058U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 肖岳南;李时俊;张勇;伍波 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;B25J9/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 升降立柱 固定手臂 机械手 本实用新型 活动手臂 活动通道 载重 伸出 承重能力 大产能 缓存区 石墨舟 减小 力臂 悬臂 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高机械手载重的PECVD设备，包括：升降立柱（1）、安装在升降立柱上的固定手臂（2），所述固定手臂的一端可伸出活动手臂（3），其特征在于，所述固定手臂（2）伸出活动手臂（3）的一端与升降立柱（1）连接，所述升降立柱（1）设置在PECVD设备的活动通道的中间。
2.如权利要求1所述的提高机械手载重的PECVD设备，其特征在于，所述固定手臂（2）的侧边设有连接件（21），所述连接件（21）与升降立柱（1）的滑块连接。
3.如权利要求1所述的提高机械手载重的PECVD设备，其特征在于，所述活动手臂（3）上设有可在其底面滑动用于抓取石墨舟（4）的活动手爪（31）。
4.如权利要求3所述的提高机械手载重的PECVD设备，其特征在于，所述活动手臂（3）的下方设有导轨，所述活动手爪（31）上设有与导轨配合的第二滑块。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
