[实用新型]一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器有效

专利信息
申请号: 201821680443.X 申请日: 2018-10-16
公开(公告)号: CN208655664U 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 中山科立特光电科技有限公司
主分类号: H01L31/0232 分类号: H01L31/0232;H01L31/108;G01J1/42
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 528458 广东省中*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 宽频段 肖特基势垒 有机材料 光检测器 肖特基结 入射光 孔洞 本实用新型 第一电极 衬底层 上表面 载流子 金属形成 吸收特性 周期分布 金属膜 有机物 光热 检测 探测器 势垒 覆盖
【权利要求书】:

1.一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器,包括衬底层(1),所述衬底层(1)的上方设置有第一电极层(2),所述第一电极层(2)的上方设置有有机材料(3),其特征在于:所述有机材料(3)的上表面设置有多个周期分布的孔洞(4),并且有机材料(3)的上表面还覆盖有金属膜(5)。

2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)为锥形槽,并且孔洞(4)的侧面法线与底面法线的夹角为60°~85°。

3.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)之间,位于有机材料(3)的上表面处设置有填充孔(6)。

4.如权利要求3所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述填充孔(6)内填充有热膨胀材料。

5.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)的深度为1μm~5μm。

6.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)的宽度为1μm~3μm。

7.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述金属膜(5)是由导电性良好的金、银或铜材料制成。

8.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述金属膜(5)是由铂制成。

9.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述有机材料(3)是有机低聚物或者聚合物制成。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山科立特光电科技有限公司,未经中山科立特光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821680443.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top