[实用新型]一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器有效
申请号: | 201821680443.X | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN208655664U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0232 | 分类号: | H01L31/0232;H01L31/108;G01J1/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528458 广东省中*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 宽频段 肖特基势垒 有机材料 光检测器 肖特基结 入射光 孔洞 本实用新型 第一电极 衬底层 上表面 载流子 金属形成 吸收特性 周期分布 金属膜 有机物 光热 检测 探测器 势垒 覆盖 | ||
1.一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器,包括衬底层(1),所述衬底层(1)的上方设置有第一电极层(2),所述第一电极层(2)的上方设置有有机材料(3),其特征在于:所述有机材料(3)的上表面设置有多个周期分布的孔洞(4),并且有机材料(3)的上表面还覆盖有金属膜(5)。
2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)为锥形槽,并且孔洞(4)的侧面法线与底面法线的夹角为60°~85°。
3.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)之间,位于有机材料(3)的上表面处设置有填充孔(6)。
4.如权利要求3所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述填充孔(6)内填充有热膨胀材料。
5.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)的深度为1μm~5μm。
6.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述孔洞(4)的宽度为1μm~3μm。
7.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述金属膜(5)是由导电性良好的金、银或铜材料制成。
8.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述金属膜(5)是由铂制成。
9.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的宽频段光检测器, 其特征在于:所述有机材料(3)是有机低聚物或者聚合物制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的