[实用新型]一种四工位转靶有效

专利信息
申请号: 201821681616.X 申请日: 2018-10-16
公开(公告)号: CN208965025U 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 王军岭 申请(专利权)人: 南京欧德工程技术有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 211103 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 冷却罩 靶材 固定板 驱动装置 四工位 镀膜 转动 开口 真空磁控溅射 本实用新型 驱动 镀膜效率 筒外周面 转动连接 转动设置 镀膜机 固定的 上开口 轴端部 外罩 对准 配合 保证
【权利要求书】:

1.一种四工位转靶,包括与镀膜机固定的固定板(1),所述固定板(1)上转动连接有靶轴(2),所述靶轴(2)端部固定有靶材筒(5),其特征在于:所述靶材筒(5)外罩设有冷却罩(3),所述冷却罩(3)上设有与靶材筒(5)外周面配合的开口(31),所述冷却罩(3)转动设置在靶轴(2)上,所述固定板(1)上设有驱动冷却罩 (3)转动的驱动装置。

2.根据权利要求1所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述靶轴(2)外周面上设有支撑冷却罩 (3)的凸环(22),所述凸环(22)顶面上设有呈环形设置的沉槽(221),所述冷却罩(3)底部设有套设在靶轴(2)外的套筒(51),所述套筒(51)底面上嵌设有若干滚动设置在沉槽(221)内的滚珠(321)。

3.根据权利要求1或2所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述驱动装置包括固定在冷却罩 (3)底部且与靶轴(2)同轴设置的第一从动齿轮(6),所述固定板(1)上平行于靶轴(2)设有操作杆(7),所述操作杆(7)一端与固定板(1)转动连接,另一端设有与第一从动齿轮(6)啮合的第一主动齿轮(71)。

4.根据权利要求3所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述固定板(1)上设有与操作杆(7)套接的导套(8),所述导套(8)以及操作杆(7)沿操作杆(7)与靶轴(2)中心线方向滑移设置在固定板(1)上,所述固定板(1)上设有驱动导套(8)滑移以及固定的驱动件。

5.根据权利要求4所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述固定板(1)上设有供导套(8)滑移的腰形槽(11),所述驱动件包括设置在腰形槽(11)内的弹性件以及相对弹性件设置的驱动螺栓(82)。

6.根据权利要求4所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述冷却罩 (3)底部与靶轴(2)同轴设有挡环(33),所述挡环(33)位于第一主动齿轮(71)外侧,所述导套(8)远离固定板(1)一端设有当第一主动齿轮(71)与第二主动齿轮(41)脱离啮合时与挡环(33)抵接的抵接环(83)。

7.根据权利要求1所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述靶轴(2)底部固定有第二从动齿轮(21),所述固定板(1)上转动连接有转柄(4),所述转柄(4)端部设有与第二从动齿轮(21)啮合的第二主动齿轮(41)。

8.根据权利要求2所述的一种四工位转靶,其特征在于:所述套筒(51)的外周面上固定有与凸环(22)外周面贴合的限位环(512),所述限位环(512)的内径与凸环(22)外径相等。

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