[实用新型]一种柔性可拉伸光波导感知器件

权利要求书

1.一种柔性可拉伸光波导感知器件，其特征在于，包括柔性基底(1)及分布在柔性基底(1)上的光栅结构，所述光栅结构包括对称分布于柔性基底(1)两端的左光栅(2)和右光栅(3)，所述左光栅(2)和右光栅(3)的结构相同，均包括多个开设在柔性基底(1)上的且平行设置的凹槽。

2.如权利要求1所述的柔性可拉伸光波导感知器件，其特征在于，多个凹槽等间距设置，每个凹槽的深度h为50nm-250nm，长度s为200μm-3000μm，宽度m为200nm-400nm。

3.如权利要求1所述的柔性可拉伸光波导感知器件，其特征在于，相邻两凹槽之间为凸台结构，所述凸台结构的尺寸与凹槽尺寸一致，其高度为50nm-250nm，长度为200μm-3000μm，宽度为200nm-400nm。

4.如权利要求1所述的柔性可拉伸光波导感知器件，其特征在于，所述柔性基底(1)的高度H为200μm-1000μm，长度M为0.5mm-15mm，宽度与凹槽的长度一致。

5.如权利要求1所述的柔性可拉伸光波导感知器件，其特征在于，所述左光栅(2)和右光栅(3)的间距为0.5mm-15mm。

6.如权利要求1所述的柔性可拉伸光波导感知器件，其特征在于，所述柔性基底(1)的两端用于作为夹持部，供外界夹持机构夹持。