[实用新型]一种电源柜

说明书

本实用新型公开了一种电源柜，涉及半导体设备技术领域。该电源柜包括柜体、冷风发生装置及温控系统，柜体内设置有发热元件，柜体的侧壁上设置有进风口和出风口；冷风发生装置设置有冷风出口，冷风出口与进风口连通，冷风发生装置用于向柜体内提供冷气；温控系统分别与柜体和冷风发生装置连接，用于根据柜体内的温度，控制冷气的供给以及柜体电源的通断。该电源柜中，冷风发生装置可以向柜体内提供冷风，从而保证柜体内部维持在较低的温度，从而保证柜体内各部件的平稳运行。温控系统根据柜体内的温度，控制冷风的参数，从而保证散热大于产热，防止电源柜内部出现热量累积导致过热的情况。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种电源柜。

背景技术

半导体设备，例如电子束蒸发台在作业时，需要在灯丝上加载高电压从而激发出电子，此类设备都装备有高压电源柜来提供高电压。

在进行长时间连续作业时，高压电源柜内部器件会因为高压大功率的运行产生大量的热量。目前电源柜一般在后端装有风扇散热，但风扇的散热效果差，无法将电源柜内的热量完全排出，尤其是在设备长时间工作的情况下，热量会随时间在电源柜内部累积，使电源柜温度持续升高。过高的温度会导致电源柜内电子管的性能下降，从而引起高压打火等问题，降低了工艺作业的稳定性。过高的温度甚至会导致电源柜内变压器加速老化直至烧毁，导致电源柜故障，引起火灾等隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种电源柜，能够将柜体内的热量及时散发，使柜体内部维持较低温度，从而保证柜体内各部件的平稳运行。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种电源柜，包括：

柜体，所述柜体内设置有发热元件，所述柜体的侧壁上设置有进风口和出风口；

冷风发生装置，所述冷风发生装置设置有冷风出口，所述冷风出口与所述进风口连通，所述冷风发生装置用于向所述柜体内提供冷气；及

温控系统，所述温控系统分别与所述柜体和所述冷风发生装置连接，用于根据所述柜体内的温度控制所述冷气的供给。

其中，所述冷风发生装置包括：

壳体，所述壳体上设置有所述冷风出口；及

设置在所述壳体内的压缩机、蒸发器、膨胀阀和冷凝器，所述压缩机、所述冷凝器、所述膨胀阀和所述蒸发器依次连通形成循环制冷通路，所述蒸发器与所述冷风出口对应设置。

其中，所述冷风发生装置还包括：

第一风扇，所述第一风扇设置于壳体内，并与所述冷风出口相对设置，用于将冷风送入所述柜体内。

其中，所述冷风发生装置还包括：

热风出口，设置于所述壳体上，并与所述冷凝器对应设置；

第二风扇，所述第二风扇设置于壳体内，所述冷凝器位于所述第二风扇和所述热风出口之间。

其中，所述冷风发生装置还包括：

双头电机，所述双头电机分别与所述第一风扇和所述第二风扇连接。

其中，所述冷风发生装置还包括：

排水管道，所述排水管道设置于所述蒸发器下方，且一端与所述蒸发器连接，另一端伸出所述壳体外。

其中，所述柜体内设置有导流板。

其中，所述柜体在所述出风口处设置有第三风扇。

其中，所述温控系统包括：

温度传感器，设置于所述发热元件上；

及