[实用新型]一种用于晶圆流片制造的前处理装置

说明书

本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果；包括处理箱和四组支撑柱；还包括两组左支撑弹簧、两组右支撑弹簧、两组支撑板、两组左支撑杆、两组右支撑杆和连接板，还包括两组限位板、两组固定弹簧、两组方形限位块和取放箱；还包括两组旋转杆、两组从动齿轮、两组主动齿轮、两组上连接杆、两组下连接杆、两组上定位轮、两组下定位轮、左固定板、右固定板和两组传动链条。

技术领域

本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置。

背景技术

众所周知，用于晶圆流片制造的前处理装置是一种用于晶圆流片生产制造过程中，其所使用的晶圆表面附着三氧化二铝和甘油混合保护层，在制作前需要对晶圆表面的保护层进行处理，以方便其后续加工制造的附属装置，其在晶圆流片制造的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆流片制造的前处理装置包括处理箱和四组支撑柱，处理箱内设置有处理腔，并在处理箱顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱顶端分别与处理箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；现有的用于晶圆流片制造的前处理装置使用时，将前处理液倒入处理箱内，并将所需要进行处理的晶圆倒入处理箱内，通过前处理液与晶圆表面接触对晶圆表面的保护层进行处理，处理一定时间后将晶圆捞出即可；现有的用于晶圆流片制造的前处理装置使用中发现，晶圆体积较小，不方便一次性将其全部取出，实用性较差；并且其在处理过程中，不方便对每个晶圆表面进行充分处理，从而导致其处理效果较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果的用于晶圆流片制造的前处理装置。

本实用新型的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，包括处理箱和四组支撑柱，处理箱内设置有处理腔，并在处理箱顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱顶端分别与处理箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括两组左支撑弹簧、两组右支撑弹簧、两组支撑板、两组左支撑杆、两组右支撑杆和连接板，所述两组左支撑弹簧和两组右支撑弹簧顶端和底端分别与两组支撑板底部、处理箱内底部左半区域和右半区域连接，所述两组左支撑杆和两组右支撑杆顶端分别穿过处理箱底部并与两组支撑板底部连接，并且两组左支撑杆和两组右支撑杆与处理箱底部接触处机械密封，还包括两组限位板、两组固定弹簧、两组方形限位块和取放箱，所述两组限位板分别安装在两组支撑板顶部，所述两组固定弹簧两端分别与两组方形限位块和两组限位板连接，所述取放箱内设置有放置腔，取放箱顶部设置有进出口，进出口与放置腔相通，所述取放箱左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有两组方形限位槽，所述两组方形限位块分别伸入两组方形限位槽内，所述取放箱左侧壁、右侧壁、前侧壁、后侧壁和底部分别设置有多组通孔；还包括两组旋转杆、两组从动齿轮、两组主动齿轮、两组上连接杆、两组下连接杆、两组上定位轮、两组下定位轮、左固定板、右固定板和两组传动链条，所述两组限位板中央区域分别设置有两组旋转孔，所述两组旋转杆一端分别穿过两组旋转孔并与两组方形限位块连接，所述两组从动齿轮分别安装在两组旋转杆另一端，所述两组上连接杆两端分别与两组主动齿轮和两组上定位轮连接，所述两组下连接杆两端分别与两组从动齿轮和两组下定位轮连接，所述左固定板右侧壁和右固定板左侧壁上半区域和下半区域分别设置有两组上定位槽和两组下定位槽，所述两组上定位轮和两组下定位轮分别位于两组上定位槽和两组下定位槽内，所述两组传动链条分别包裹在两组主动齿轮和两组从动齿轮外部，并且两组传动链条分别与两组主动齿轮和两组从动齿轮啮合，所述取放箱的进出口处可拆卸设置有挡盖。