[实用新型]离子束筛选器和离子植入机

说明书

本实用新型提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作；还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束筛选器以及如离子束分离器。在本实用新型提供的离子束筛选器和离子植入机中，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，适用于不同的机台对不同电流的离子束的需求。并且本实用新型通过控制器自动控制遮挡板的移动，实现电子束通过第一孔或第二孔的切换，从而自动筛选出不同电流的离子束。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备领域，尤其是涉及一种离子束筛选器和离子植入机。

背景技术

离子植入法是一种用于将改变材料导电性的离子引入工件中的标准技术。进行离子植入采用的设备称为离子植入机。离子植入机具有能提供规定能量的离子束的离子源，离子束最终被引导至工件的表面。离子植入机发射的离子束的密度从自身的中间部分到周围的密度逐渐减小，离子束边缘的发散的部分离子束会被过滤掉，得到较均匀的离子束。

过滤掉的离子束的离子较为集中，但是并不一定就是所需电流的离子束，因此需要一个可以控制离子植入电流大小的设备，并且能通过程式控制获得不同电流的离子束。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子束筛选器和离子植入机，可以自动筛选出不同电流的离子束。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。

可选的，在所述的离子束筛选器中，所述离子束筛选器还包括用于使与遮挡板能够相对于底板移动的移动装置。

可选的，在所述的离子束筛选器中，所述移动装置包括与遮挡板连接的气缸以及与所述气缸连接的控制器。

可选的，在所述的离子束筛选器中，所述离子束筛选器还包括碳棒，所述遮挡板固定在碳棒上。

可选的，在所述的离子束筛选器中，所述第一孔的孔径为36mm-40mm；所述第二孔的孔径为7mm-9mm。

可选的，在所述的离子束筛选器中，所述底板和所述遮挡板平行设置。

可选的，在所述的离子束筛选器中，所述离子束的中心线垂直于所述第一孔或所述第二孔入射。

本实用新型还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束分离器以及离子束筛选器。

可选的，在所述的离子植入机中，所述离子束分离器为两个石墨板，两个石墨板在同一平面并且两个石墨板之间具有一定间隙。

可选的，在所述的离子植入机中，所述离子源发射的离子束的密度从中间到边缘部分逐渐减小。

在本实用新型提供的离子束筛选器和离子植入机中，离子束筛选器包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。遮挡板移动可以遮挡或露出第一孔，露出第一孔时，电子束完全通过第一孔过滤获得一种电流的电子束；遮挡第一孔时，电子束通过第二孔过滤获得另一种电流的电子束，最终，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，满足不同电流的离子束的需求。

附图说明

图1-图2为本实用新型实施例的离子束筛选器的结构示意图；

图3为本实用新型实施例的离子植入机的结构示意图；