[实用新型]助力脱气系统和具有该系统的真空脱气塔及纯水系统有效

专利信息
申请号: 201821691960.7 申请日: 2018-10-18
公开(公告)号: CN209438122U 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: B01D19/00 分类号: B01D19/00;C02F1/20;C02F103/04
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 袁礼君;阚梓瑄
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 水封泵 混合水 脱气系统 脱气塔 助力泵 气液分离循环 真空脱气塔 纯水系统 气液分离处理 泵浦设备 马达功率 设备负荷 循环管路 循环连通 循环水量 运转效率 真空助力 两段式 气体泵 真空塔 主管路 连通 叶片 抽出 主管
【说明书】:

本公开提出一种助力脱气系统和具有该系统的真空脱气塔及纯水系统,助力脱气系统包括水封泵、气液分离循环桶以及助力泵。水封泵通过主管路连通于脱气塔的上部,用以将脱气塔内的混合水气体泵出。气液分离循环桶通过循环管路循环连通于水封泵,用以对水封泵泵出的混合水气体进行气液分离处理。助力泵设于主管路上,且位于水封泵与脱气塔之间,用以在水封泵泵出混合水气体时提供助力。本公开利用水封泵和助力泵组成基于机械式真空助力的两段式泵浦设备,水封泵循环水量较小,且所需使用的马达功率较小。并且,由真空塔抽出的混合水气体仅需一台水封泵处里,设备负荷较小,且水封泵的叶片运转效率耗损程度较低。

技术领域

本公开涉及纯水处理设备技术领域,尤其涉及一种助力脱气系统和具有该系统的真空脱气塔及纯水系统。

背景技术

纯水系统在中段处里过程中(反渗透到一次纯水系统),需去除水中二氧化碳(CO2)气体,避免碳酸根(CO32-)后续制程水质产生影响。现有纯水系统通常采用真空脱气塔系统实现上述功能,可以隔绝外部空气因子干扰水质。真空脱气塔系统须搭配液封式真空泵(真空度约为25托~35托,其中托即为Torr,1Torr≈1.316×10-3个标准大气压,或1Torr≈133.322Pa),使脱气塔系统内水质不受外界污染,保持此系统持续循环。

在现有真空脱气塔系统中,通常采用两台单段水封式真空泵搭配使用。其中,每台单段水封式真空泵循环水量较大(约为每分钟120升,即120LPM),且所需使用的马达功率较大(约为75马力,即75HP或75匹,运转电流约为75安培,即75A)。据此,由真空塔抽出的全部混合水气体全部由多台单段水封式真空泵处里,导致负荷过大,且泵机的叶片运转效率耗损严重。

实用新型内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种循环水量较小、所需马达功率较小且封水泵叶片运转效率损坏程度较低的助力脱气系统。

本公开的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种具有上述助力脱气系统的真空脱气塔。

本公开的又一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种具有上述真空脱气塔的纯水系统。

为实现上述目的,本公开采用如下技术方案:

根据本公开的一个方面,提供一种助力脱气系统,用以对脱气塔抽真空。其中,所述助力脱气系统包括水封泵、气液分离循环桶以及助力泵。所述水封泵通过主管路连通于所述脱气塔的上部,所述水封泵被配置为将所述脱气塔内的混合水气体泵出。所述气液分离循环桶通过循环管路循环连通于所述水封泵,所述气液分离循环桶被配置为对所述水封泵泵出的混合水气体进行气液分离处理。所述助力泵设于所述主管路上,且位于所述水封泵与所述脱气塔之间,所述助力泵被配置为在所述水封泵泵出混合水气体时提供助力。

根据本公开的其中一个实施方式,所述助力泵循环连通有真空管路,所述真空管路上设有真空开关。

根据本公开的其中一个实施方式,所述真空管路上还设有真空计。

根据本公开的其中一个实施方式,所述真空管路上还设有真空破坏阀。

根据本公开的其中一个实施方式,所述真空管路上设有旁通阀。

根据本公开的其中一个实施方式,所述主管路上设有入口阀,且所述入口阀位于所述助力泵与所述脱气塔之间。

根据本公开的其中一个实施方式,所述主管路上设有止回阀,且所述止回阀位于所述助力泵与所述水封泵之间。

根据本公开的其中一个实施方式,所述循环管路上设有冷却器。

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