[实用新型]研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种研磨液过滤系统，其特征在于，包含：

主管路，其一端作为研磨液供给端，其另一端作为研磨液输出端；

过滤器，安装于所述主管路上；

用于控制所述主管路通断的第一阀门，安装于所述主管路上，且位于所述过滤器与所述研磨液供给端之间；以及

用于向所述过滤器提供冲洗物质以排出所述过滤器中残存的研磨液的清洗装置，与所述第一阀门和所述过滤器之间的所述主管路相连接。

2.如权利要求1所述的研磨液过滤系统，其特征在于，所述清洗装置包含：

第一管路，其一端与所述主管路连接，且其连接点位于所述第一阀门与所述过滤器之间，其另一端用于接入冲洗物质源；以及

用于控制所述第一管路通断的第二阀门，安装于所述第一管路上。

3.如权利要求1所述的研磨液过滤系统，其特征在于，所述清洗装置包含：

第一管路、第一支管路和第二支管路，所述第一管路的一端与所述主管路连接且其连接点位于所述第一阀门与所述过滤器之间；

用于控制所述第一管路通断的第二阀门，安装于所述第一管路上；

所述第一管路的另一端直接引出或通过连接件引出所述第一支管路和第二支管路，所述第一支管路用于接入干燥气体源，所述第二支管路用于接入冲洗物质源；

用于控制该第一支管路通断的第三阀门，其设置在所述第一支管路上；以及

用于控制该第二支管路通断的第四阀门，其设置在所述第二支管路上。

4.如权利要求3所述的研磨液过滤系统，其特征在于，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门及第四阀门采用手动阀和/或气动阀。

5.如权利要求3所述的研磨液过滤系统，其特征在于，所述连接件为三通阀，所述三通阀中的任意一路连通所述第一管路，其余的两路中的任意一路与所述第一支管路连接，另一路与所述第二支管路连接。

6.如权利要求1所述的研磨液过滤系统，其特征在于，所述过滤器包括壳体及位于所述壳体内的过滤芯。

7.如权利要求6所述的研磨液过滤系统，其特征在于，所述过滤芯采用折叠筒式过滤芯。

8.如权利要求1～7中任意一项所述的研磨液过滤系统，其特征在于，还包含：用于检测所述主管路所排出液体的pH值的pH检测设备，安装于所述主管路上。

9.一种研磨液供应系统，其特征在于，包含：

研磨液供给源；以及

如权利要求1～8中任意一项所述的研磨液过滤系统，所述研磨液过滤系统中的主管路的研磨液供给端与所述研磨液供给源连接。

10.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包含：

旋转台；

固定在所述旋转台表面的研磨垫；以及

如权利要求1～8中任意一项所述的研磨液过滤系统，所述研磨液过滤系统中的主管路的研磨液输出端用于向所述研磨垫上提供研磨液。