[实用新型]一种露点仪

权利要求书

1.一种露点仪,其特征在于，包括：

第一谐振式质量传感器，用于通过吸附待测气体中水分子和杂质以获取第一测量数据；

第二谐振式质量传感器，用于通过吸附待测气体中杂质以获取第二测量数据；

计算单元，用于计算所述第一测量数据和所述第二测量数据的差值；

处理器，用于将差值带入Sauerbrey方程计算得到待测气体的露点。

2.如权利要求1所述的露点仪，其特征在于，所述第一测量数据和所述第二测量数据是频移数据或质量数据。

3.如权利要求1所述的露点仪，其特征在于，所述第一谐振式质量传感器是石英晶体微天平传感器。

4.如权利要求3所述的露点仪，其特征在于，所述第二谐振式质量传感器是石英晶体微天平传感器。

5.如权利要求4所述的露点仪，其特征在于，所述第一谐振式质量传感器和第二谐振式质量传感器都包括：

石英基片，为片状结构；

金属电极，为电镀在所述石英基片侧面的金属薄膜。

6.如权利要求5所述的露点仪，其特征在于，所述第二谐振式质量传感器还包括憎水层，是憎水性材料形成的薄膜结构；所述憎水层覆盖在所述金属电极的外表面，用于减少所述第二谐振式质量传感器对待测气体中水分子的吸收。

7.如权利要求1所述的露点仪，其特征在于，还包括第一振荡电路、第二振荡电路和计数器；

所述第一振荡电路，其串联在所述第一谐振式质量传感器与所述计数器之间，用于给所述第一谐振式质量传感器提供振荡信号；

所述第二振荡电路，其串联在所述第二谐振式质量传感器与所述计数器之间，用于给所述第二谐振式质量传感器提供振荡信号；

所述计数器与所述处理器连接，用于单位时间内分别对所述第一谐振式质量传感器的振荡信号和所述第二谐振式质量传感器的振荡信号进行计数，并将计数数据发送给所述处理器；

所述第一测量数据和所述第二测量数据是所述计数器获取的计数数据。

8.如权利要求7所述的露点仪，其特征在于，还包括基准频率源，与所述计数器连接，所述基准频率源用于输出参考频率信号；所述计数器对所述基准频率源输出的参考频率信号进行计数，用于计数参考。

9.如权利要求1所述的露点仪，其特征在于，还包括第一振荡电路、第二振荡电路、第一A/D转换电路和第二A/D转换电路；

所述第一振荡电路串联在所述第一谐振式质量传感器与所述第一A/D转换电路之间；所述第一A/D转换电路与所述处理器连接；所述第一A/D转换电路将所述第一振荡电路的振荡信号转化为数字信号发送给所述处理器；

所述第二振荡电路串联在所述第二谐振式质量传感器与所述第二A/D转换电路之间；所述第二A/D转换电路与所述处理器连接；所述第二A/D转换电路将所述第二振荡电路的振荡信号转化为数字信号发送给所述处理器；

所述第一测量数据和所述第二测量数据是数字信号数据。

10.如权利要求9所述的露点仪，其特征在于，还包括第一信号调理电路和第二信号调理电路；

所述第一信号调理模块串联在所述第一振荡电路和所述第一A/D转换电路之间，用于对所述第一振荡电路输出的频率信号转化为电压信号并输出给所述第一A/D转换电路；

所述第二信号调理模块串联在所述第二振荡电路和所述第二A/D转换电路之间，用于对所述第二振荡电路输出的频率信号转化为电压信号并输出给所述第二A/D转换电路。