[实用新型]一种插片辅助装置

权利要求书

1.一种插片辅助装置，用于辅助硅片插入花篮，其特征在于，包括定位工装、以及用于驱动所述定位工装移动的驱动机构，所述定位工装与所述驱动机构连接，其中，定位工装包括托齿架以及所述托齿架所支撑的多个托齿，多个所述托齿沿所述托齿架间隔设置。

2.如权利要求1所述的插片辅助装置，其特征在于，所述托齿包括与所述托齿架连接的根部及顶端，所述根部的横截面积大于所述顶端的横截面积。

3.如权利要求2所述的插片辅助装置，其特征在于，多个所述托齿之间间隔相等。

4.如权利要求2或3所述的插片辅助装置，其特征在于，所述托齿的长度大于或等于硅片的长度。

5.如权利要求1所述的插片辅助装置，其特征在于，所述驱动机构包括第一驱动装置、第二驱动装置、第一导向装置及第二导向装置，其中，所述第一驱动装置与第一导向装置连接，所述第二驱动装置与第二导向装置连接，所述第一驱动装置与第二驱动装置之间固定连接。

6.如权利要求5所述的插片辅助装置，其特征在于，所述第一驱动装置与所述定位工装固定连接，所述第一驱动装置驱动所述定位工装沿第一方向移动，所述第二驱动装置驱动所述定位工装沿第二方向移动。

7.如权利要求6所述的插片辅助装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向正交。

8.如权利要求5所述的插片辅助装置，其特征在于，所述第一驱动装置为气缸，所述第二驱动装置为电机。

9.如权利要求8所述的插片辅助装置，其特征在于，所述气缸包括气缸本体和活塞杆，所述活塞杆与所述定位工装的托齿架固定连接。

10.如权利要求5所述的插片辅助装置，其特征在于，所述第一导向装置为导轨，所述第二导向装置为滑轨。