[实用新型]用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置

说明书

本实用新型提供了一种用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括驱动件、转轴和装夹件，驱动件与转轴连接并能够带动转轴转动，装夹件设置在转轴上，装夹件上还设有至少两个用于固定片材的固定件；该夹具能够同时装载多片片材，且在驱动件的带动下能够实现不同片材位置的变换，即沉积过程中一次可对多片片材进行涂层沉积，极大减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命。本实用新型还提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材沉积涂层的夹具位于炉体内并对片材进行夹持。

技术领域

本实用新型涉及涂层沉积辅助设备技术领域，尤其是涉及一种用于片材沉积涂层的夹具及沉积装置。

背景技术

在热丝气相沉积法制备片材涂层的工艺中，受限于现有沉积装置的结构，每次沉积操作时往往只能放入单片片材于沉积装置内，即一炉一片逐片沉积。这种工艺操作存在以下问题：

(1)每沉积完一片片材，都需要打开设备重新装载下一片，每次装载都要重新抽真空，而抽真空的时间占整个生产时间的五分之一左右；

(2)通常在更换片材的过程中，热丝由高温冷却至室温极易断裂，需要重新更换热丝，且热丝(钽丝)的价格比较贵，经常更换热丝不利于降低生产成本。

由此可知，一炉一片逐片沉积的方式沉积效率低，产量低，工人劳动强度大，生产成本高。有鉴于此，特提出本实用新型能够解决上述问题中的至少一个。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种用于片材沉积涂层的夹具，在不改变沉积装置的基本结构条件下，该夹具可同时装载多片片材，实现一次可对多片片材进行涂层沉积，极大的减少了一些中间过程，有利于提高沉积效率和降低生产成本。

本实用新型的第二目的在于提供一种沉积装置，使用上述用于片材沉积涂层的夹具进行沉积操作，使用该沉积装置能够对片材进行多片连续沉积，沉积效率高、生产周期短，同时也降低了生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型特采用如下技术方案：

本实用新型提供了一种用于片材沉积涂层的夹具，包括驱动件、转轴和装夹件；

所述驱动件与所述转轴连接，并能够带动所述转轴转动，所述装夹件设置在所述转轴上，所述装夹件上还设有至少两个用于固定片材的固定件。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述驱动件包括第一驱动件和第二驱动件；

所述第一驱动件与所述第二驱动件配合连接，且所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动；

所述第二驱动件与所述转轴固定连接。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述第一驱动件和所述第二驱动件之间采用齿轮传动、皮带传动或链传动。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述装夹件能够沿所述转轴的轴向方向滑动。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，各所述固定件位于同一水平高度，且沿各所述固定件沿所述转轴周向均匀分布。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述固定件为钼质夹头。

进一步的，在本实用新型技术方案的基础之上，所述第一驱动件和第二驱动件均为铜质驱动件；

和/或，所述转轴为铜质转轴；

和/或，所述装夹件为铜质装夹件。

本实用新型还提供了一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材沉积涂层的夹具位于所述炉体内部并对片材进行夹持。