[实用新型]一种基板缺陷消除装置及基板缺陷检测和消除机台有效

专利信息
申请号: 201821705544.8 申请日: 2018-10-19
公开(公告)号: CN209868285U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 胡钦;申屠永华;王伟 申请(专利权)人: 咸阳彩虹光电科技有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34;B24B37/005;B24B57/02
代理公司: 61230 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 张捷
地址: 712000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 机械位移 研磨组件 支撑底座 基板检测装置 本实用新型 上移动 修复 承载基板 基板缺陷 人工手动 显示面板 消除装置 研磨 对基板 绑定 良率 底座
【权利要求书】:

1.一种基板缺陷消除装置,其特征在于,包括:

承载基板的支撑底座;所述支撑底座上还设置有若干个支撑柱和若干个气孔,所述支撑柱沿所述支撑底座四边均匀分布,所述气孔分布在所述支撑柱围成的区域内;

机械位移组件,设置在所述支撑底座上;

研磨组件,设置在所述机械位移组件上。

2.如权利要求1所述的基板缺陷消除装置,其特征在于,所述机械位移组件包括导轨和龙门轴,其中,

所述导轨设置在所述支撑底座上,所述龙门轴设置在所述导轨上。

3.如权利要求2所述的基板缺陷消除装置,其特征在于,所述导轨包括相互平行的第一导轨和第二导轨,其中,

所述第一导轨设置在所述支撑柱和所述气孔之间,所述第二导轨设置在与所述第一导轨相对侧的所述支撑柱和所述气孔之间;

所述龙门轴垂直设置在所述第一导轨和所述第二导轨上。

4.如权利要求3所述的基板缺陷消除装置,其特征在于,所述研磨组件包括研磨头,所述研磨头设置在所述龙门轴上。

5.如权利要求4所述的基板缺陷消除装置,其特征在于,所述研磨头周围设置有挡板。

6.如权利要求4所述的基板缺陷消除装置,其特征在于,所述研磨头内部设置有研磨液通道。

7.如权利要求6所述的基板缺陷消除装置,其特征在于,所述研磨组件还包括研磨液注入口,所述研磨液注入口设置在所述支撑底座上,所述研磨液注入口与所述研磨液通道连通。

8.一种基板缺陷检测和消除机台,其特征在于,包括如权利要求1至7中任一项所述的基板缺陷消除装置,还包括:

分别设置在所述基板缺陷消除装置四周的第一基板检测模组、第二基板检测模组、第一滚筒组和第二滚筒组,

其中,所述第一基板检测模组与所述第二基板检测模组相对,所述第一滚筒组与所述第二滚筒组相对。

9.如权利要求8所述的基板缺陷检测和消除机台,其特征在于,所述第一滚筒组与所述第二滚筒组均为可升降滚筒组。

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