[实用新型]靶材浸润处理的辅助装置

说明书

一种靶材浸润处理的辅助装置，包括传动杆以及支撑架，所述支撑架适于支撑所述传动杆；还包括超声波盘，所述超声波盘与所述传动杆一端固定连接，所述超声波盘底部固定连接有至少一个超声波处理器。所述支撑架支撑所述传动杆与所述超声波盘，所以操作者可以借助所述支撑架的力支撑所述超声波处理器，很大程度的节约了操作者的劳动力；并且所述传动杆与所述超声波盘固定连接，当操作者手持所述传动杆，且旋转所述传动杆时，所述超声波盘底部固定的超声波处理器就会沿固定的环绕轨道旋转，使得所述超声波处理器可以处理到靶坯表面或者其他待浸润处理的表面每一个细节部位，使得浸润结果更加稳定和均匀。

技术领域

本实用新型涉及机械加工领域，特别涉及一种靶材浸润处理的辅助装置。

背景技术

钎焊是一种材料连接方法，人们常使用这种方法连接靶材。在钎焊时，将低于靶材熔点的钎料与靶材同时加热到钎料熔化的温度后，使得所述钎料为液态，利用所述液态钎料能够铺展到靶材表面以填充靶材表面的缝隙，使靶材的靶坯和背板的表面连接。液体与固体接触时，有的液体表面张力大，难以和固体相互附着，为了增加这种附着力，一般要对固体表面进行表面浸润处理。现有技术中，使用超声波对固体表面进行处理，使得液体铺展到整个钎焊面上并且形成较强的附着力。

但是，现有技术中，在对靶材表面浸润处理时，一般是操作者手持超声波处理仪器，由于超声波处理焊接面时间比较持久，需要反复处理很多遍，所以，人为手持超声波处理仪器进行处理焊接面容易使人疲惫，工作效率无法提高，特别是针对半导体晶圆磁控溅射镀膜用的靶材，这种靶材的靶坯表面是圆形，要使得超声波处理器能够均匀处理到该圆形的每个细节处，增加了浸润处理的难度，使得工作效率非常低，更加不利于大批量作业。

因此，极需要一种辅助装置，可以提高操作者的工作效率，有益于大批量作业。

发明内容

本实用新型解决的问题是在对靶坯表面使用超声波处理器进行浸润处理时，提高操作者的工作效率。

为解决上述问题，本实用新型提供一种靶材浸润处理的辅助装置，传动杆以及支撑架，所述支撑架适于支撑所述传动杆；超声波盘，所述超声波盘与所述传动杆一端固定连接，所述超声波盘上固定连接有至少一个超声波处理器。

可选的，所述支撑架包括支撑腿与支撑杆，所述支撑腿的数量至少为两条，所述支撑腿与所述支撑杆固定连接，且所述支撑腿支撑所述支撑杆。

可选的，还包括轴承，所述轴承外圈固定于所述支撑杆，所述轴承内圈与所述传动杆径向外圈固定。

可选的，还包括轴承盘，所述轴承盘固定于所述支撑杆。

可选的，所述传动杆与所述轴承盘通过轴承固定连接。

可选的，所述轴承盘厚度方向上具有通孔，所述传动杆穿过所述通孔。

可选的，在所述通孔内，所述轴承外圈与所述通孔内壁固定连接，所述轴承内圈与所述传动杆径向外端固定连接。

可选的，具有两个所述支撑腿，两个所述支撑腿分别设立在所述支撑杆轴向两端。

可选的，具有两个所述支撑腿，两条所述支撑腿设置在所述支撑杆局部，且所述支撑腿适于支撑所述支撑杆。

可选的，具有三条所述支撑腿，所述支撑杆适于固定在所述支撑腿上。

可选的，所述超声波处理器通过焊接或螺纹连接固定在所述超声波盘上。

可选的，所述传动杆包括手持部与连接部，所述连接部为杆状，所述连接部一端与所述手持部固定连接，另一端与所述超声波盘固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：