[实用新型]一种晶圆移片装置有效

专利信息
申请号: 201821711251.0 申请日: 2018-10-22
公开(公告)号: CN209193020U 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 王浩;王刚;张陈涛 申请(专利权)人: 江苏艾科半导体有限公司
主分类号: B65G47/82 分类号: B65G47/82;B65G47/74;G01R31/26
代理公司: 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 代理人: 于贺贺;邱兴天
地址: 212000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 晶圆 推杆 推动装置 片机 移片装置 片基板 空载 套筒 种晶 移动 满载 本实用新型 间隔式结构 内部安装 下端面 匹配
【权利要求书】:

1.一种晶圆移片装置,包括工具移片机(1)以及放置在工具移片机(1)上满载的晶圆匣(2)以及空载的晶圆匣(2),并且这两个晶圆匣(2)相对应放置;其特征在于:所述的工具移片机(1)的下端面安装有一可往复推动的推动装置(3),且该推动装置(3)上安装有联动杆(4),该联动杆(4)从工具移片机(1)的下方向满载的晶圆匣(2)的位置延伸并且在杆端部还安装有竖直放置的移片套筒(5),该所述的移片套筒(5)内还安装有晶圆移片基板(6),所述的晶圆移片基板(6)向上延伸设置,并且其板面一侧设置有横向伸出的晶圆移片推杆(7),所述的晶圆移片推杆(7)从上而下间隔均匀设置;该所述的晶圆移片推杆(7)与满载的晶圆匣(2)的位置对应;并且上下两相邻晶圆移片推杆(7)之间的间距与晶圆匣(2)内晶圆(8)的厚度相对应;使晶圆移片推杆(7)可间隔式的对准晶圆匣(2)内的晶圆(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述的晶圆移片基板(6)的下端开设有一台阶槽(9);而在该台阶槽(9)内放置有一分离式安装的奇偶滑块(10),该奇偶滑块(10)与晶圆移片基板(6)一同放置在移片套筒(5)内;并且该奇偶滑块(10)的高度设置为与晶圆(8)的厚度相对应;并且奇偶滑块(10)上还安装有一拨杆(11);而移片套筒(5)上则设置有滑槽(12),所述拨杆(11)从滑槽(12)内伸出。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述的晶圆移片基板(6)和移片套筒(5)上还设置有上下两个相对应的螺纹孔(13),该螺纹孔(13)内安装有可分离固定的波珠螺丝(14)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述移片套筒(5)的前端还设置有限位槽(15);而所述的晶圆移片基板(6)上则设置有相对应的限位块(16),该限位块(16)设置在限位槽(15)中,所述的晶圆移片基板(6)可带动限位块(16)抬升,而此时奇偶滑块(10)则可从台阶槽(9)处移动到晶圆移片基板(6)的下端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述的推动装置(3)上还设置有移动控制把手(17)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏艾科半导体有限公司,未经江苏艾科半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821711251.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top