[实用新型]一种晶圆移片装置有效
申请号: | 201821711251.0 | 申请日: | 2018-10-22 |
公开(公告)号: | CN209193020U | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 王浩;王刚;张陈涛 | 申请(专利权)人: | 江苏艾科半导体有限公司 |
主分类号: | B65G47/82 | 分类号: | B65G47/82;B65G47/74;G01R31/26 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 于贺贺;邱兴天 |
地址: | 212000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆 推杆 推动装置 片机 移片装置 片基板 空载 套筒 种晶 移动 满载 本实用新型 间隔式结构 内部安装 下端面 匹配 | ||
1.一种晶圆移片装置,包括工具移片机(1)以及放置在工具移片机(1)上满载的晶圆匣(2)以及空载的晶圆匣(2),并且这两个晶圆匣(2)相对应放置;其特征在于:所述的工具移片机(1)的下端面安装有一可往复推动的推动装置(3),且该推动装置(3)上安装有联动杆(4),该联动杆(4)从工具移片机(1)的下方向满载的晶圆匣(2)的位置延伸并且在杆端部还安装有竖直放置的移片套筒(5),该所述的移片套筒(5)内还安装有晶圆移片基板(6),所述的晶圆移片基板(6)向上延伸设置,并且其板面一侧设置有横向伸出的晶圆移片推杆(7),所述的晶圆移片推杆(7)从上而下间隔均匀设置;该所述的晶圆移片推杆(7)与满载的晶圆匣(2)的位置对应;并且上下两相邻晶圆移片推杆(7)之间的间距与晶圆匣(2)内晶圆(8)的厚度相对应;使晶圆移片推杆(7)可间隔式的对准晶圆匣(2)内的晶圆(8)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述的晶圆移片基板(6)的下端开设有一台阶槽(9);而在该台阶槽(9)内放置有一分离式安装的奇偶滑块(10),该奇偶滑块(10)与晶圆移片基板(6)一同放置在移片套筒(5)内;并且该奇偶滑块(10)的高度设置为与晶圆(8)的厚度相对应;并且奇偶滑块(10)上还安装有一拨杆(11);而移片套筒(5)上则设置有滑槽(12),所述拨杆(11)从滑槽(12)内伸出。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述的晶圆移片基板(6)和移片套筒(5)上还设置有上下两个相对应的螺纹孔(13),该螺纹孔(13)内安装有可分离固定的波珠螺丝(14)。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述移片套筒(5)的前端还设置有限位槽(15);而所述的晶圆移片基板(6)上则设置有相对应的限位块(16),该限位块(16)设置在限位槽(15)中,所述的晶圆移片基板(6)可带动限位块(16)抬升,而此时奇偶滑块(10)则可从台阶槽(9)处移动到晶圆移片基板(6)的下端。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆移片装置,其特征在于:所述的推动装置(3)上还设置有移动控制把手(17)。
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