[实用新型]PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构

说明书

本实用新型涉及PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，应用于传导活塞环PVD真空镀中阴极所需的电流。PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，包括铜棒和工装架底板，其特征是还包括单直角铜排、双直角长铜排；单直角铜排前段与工装架底板下表面通过螺栓紧固；单直角铜排后段与双直角长铜排前段通过锁紧螺栓连接；双直角长铜排后段与铜棒上端侧部铣面通过螺丝紧固；双直角长铜排中段处于水平面内。具有以下优点：增大了铜棒上端向上传导电流的接触面，过电流能力增强；增粗了用于紧固的螺栓，铜棒与上部元件连接的接触状态改善明显；采用铜排螺栓紧固连接，电流传导状态稳定，避免了传导线路中因接触不稳定引起的发热。

技术领域

本实用新型涉及PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，应用于传导活塞环PVD真空镀中阴极所需的电流。

背景技术

活塞环PVD真空镀设备中阴极偏压电流传导机构为弹簧压紧接触式，它由铜棒、支撑块、对折弯导电片、耐高温弹簧、压块组成。铜棒、支撑块、对折弯导电片、压块均为紫铜材料。铜棒与支撑块下表面相垂直并通过螺丝紧固；对折弯导电片一端贴在支撑块上表面并用螺丝紧固。高温弹簧位于对折弯导电片内，两端分别抵在对折弯导电片弯折前后两部分上。压块上表面与工装架底板下表面通过螺丝紧固，压块下表面抵在对折弯导电片另一端上表面。使用时，进入镀室内的工装架(底板)下移至升降台控制的高度，依靠自重将高温弹簧压缩，使对折弯导电片下部与支撑块紧密接触，上部与压块紧密接触，将铜棒与压块之间的电流接通。工作时，电流由铜棒经支撑块、对折弯导电片、压块传导至工装架底板(阴极)。工作结束，升降台升起，工装架底板恢复到原高度，电路切断，工装架底板自由移出到炉外。

这种传导结构导电好坏很大部分取决于对折弯导电片与支撑块、压块的接触状态。高温弹簧需在450℃的环境中连续工作20小时，长时间处在高温环境中，弹簧易出现疲劳，长度逐渐变短，弹力逐步减弱，弹力不足，直接影响着对折弯导电片与支撑块、压块间的接触状况，造成发热，出现电压不稳或对折弯导电片熔化的现象。实际使用过程中还会因此问题造成整炉报废，带来经济上的损失。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种电流传导稳定的，避免出现发热熔化现象的PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构。

本实用新型的目的可以通过下述技术方案来达到：

PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构，包括铜棒和工装架底板，其特征是还包括单直角铜排、双直角长铜排；单直角铜排前段与工装架底板下表面通过螺栓紧固；单直角铜排后段与双直角长铜排前段通过锁紧螺栓连接；双直角长铜排后段与铜棒上端侧部铣面通过螺丝紧固；双直角长铜排中段处于水平面内。

本实用新型相比现有技术具有如下优点：

1、增大了铜棒上端向上传导电流的接触面，过电流能力增强。

2、因增大了铜棒上端向上传导电流的接触面，也就可以增粗用于紧固的螺栓，铜棒与上部元件连接的接触状态改善明显。

3、采用铜排螺栓紧固连接，电流传导状态稳定，避免了传导线路中因接触不稳定引起的发热。

附图说明

附图1是现有PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构主视图。

图中1是工装架底板，2是压块，3是高温弹簧，4是支撑块，5是铜棒，6是对折弯导电片。

图2是图1的左视图。

图中1是工装架底板，2是压块，3是高温弹簧，4是支撑块，5是铜棒，6是对折弯导电片。

图3是图1俯视图。

图中1是工装架底板。

图4是本实用新型PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构主视图。