[实用新型]一种光学塑料基板镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201821718562.X 申请日: 2018-10-23
公开(公告)号: CN208883977U 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 黄宏亮 申请(专利权)人: 深圳市纳宏光电技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市光明新区公*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 分隔板 光学塑料 基板镀膜 镀膜室 设备室 隔板 本实用新型 蒸发源组件 氮气循环 降温设备 壳体内部 旋转组件 蒸发室 分隔 光学镀膜设备 镀膜步骤 三个腔室 形变影响 蒸发物质 电机室 基板因 循环室 过热 基板 壳体 腔室
【权利要求书】:

1.一种光学塑料基板镀膜装置,包括壳体(1)、蒸发源组件(2)、旋转组件(3)、氮气循环组件(4)、分隔板和降温设备(13),所述蒸发源组件(2)、旋转组件(3)、氮气循环组件(4)、分隔板和降温设备(13)设置在壳体(1)内部,所述分隔板包括一个第一分隔板(5)、一个第二分隔板(9)和三个第三分隔板(12);所述第一分隔板(5)和第二分隔板(9)将壳体(1)内部分隔成三个腔室,三个腔室分别为蒸发室(6)、镀膜室(7)和设备室(8),蒸发室(6)在镀膜室(7)上方,镀膜室(7)在设备室(8)上方,所述设备室(8)被第三分隔板(12)分隔成循环室(10)和电机室(11);其特征在于,所述蒸发源组件(2)设置在蒸发室(6)和镀膜室(7)内,所述旋转组件(3)设置在设备室(8)和镀膜室(7)内,所述氮气循环组件(4)设置在循环室(10)和镀膜室(7)内;所述降温设备(13)为现有技术中常见的KT(40)A工业环保空调。

2.根据权利要求1所述的光学塑料基板镀膜装置,其特征在于,所述蒸发源组件包括锅炉(21)、热源管(22)、蒸发物质箱(23)、蒸发物质通道(24)和喷射罩(25);所述旋转组件(3)包括塑料基板承载台(31)、支撑板(32)、旋转轴(33)、轴承(34)和伺服电机(35);所述氮气循环组件(4)包括出气口(41)、氮气管(42)、气泵(43)、氮气管盘(44)、氮气瓶(45)、气体单向阀(46)和进气口(47)。

3.根据权利要求2所述的光学塑料基板镀膜装置,其特征在于,所述锅炉(21)固定安装在壳体(1)顶部,锅炉(21)下方连通用于热蒸汽流通的热源管(22),所述热源管(22)底端连通装有镀膜用蒸发物质的蒸发物质箱(23),所述蒸发物质箱(23)底部连通用于通过镀膜用蒸发物质的蒸发物质通道(24),所述蒸发物质通道(24)底端固定连接喷射罩(25),所述喷射罩(25)内部设置有用于喷射镀膜用蒸发物质的喷射嘴。

4.根据权利要求3所述的光学塑料基板镀膜装置,其特征在于,所述蒸发物质箱(23)固定设置在蒸发室(6)内,所述蒸发物质通道(24)穿插过第一分隔板(5),所述喷射罩(25)设置在镀膜室(7)内。

5.根据权利要求2所述的光学塑料基板镀膜装置,其特征在于,所述伺服电机(35)固定设置在电机室(11)内,伺服电机(35)的输出轴通过联轴器固定连接旋转轴(33),所述旋转轴(33)的中间位置与轴承(34)的内圈固定连接,所述轴承(34)镶嵌在第二分隔板(9)中心位置,旋转轴(33)的顶端固定连接支撑板(32),所述支撑板(32)的上表面固定连接用于固定塑料基板本体(14)的塑料基板承载台(31)。

6.根据权利要求2所述的光学塑料基板镀膜装置,其特征在于,所述气泵(43)通过固定柱固定安装在设备室(8)的左内壁上,所述氮气瓶(45)通过固定柱固定安装在设备室(8)的右内壁上,气泵(43)的输出端连通氮气管(42),气泵(43)的输入端与氮气管盘(44)一端连通,所述氮气管盘(44)为氮气管(42)盘旋而成;所述氮气瓶(45)的顶端连通氮气管(42),氮气瓶(45)上还设置气体单向阀(46),氮气瓶(45)的底端与氮气管盘(44)的另一端连通,所述氮气管(42)的左右两顶端分别设置有出气口(41)和进气口(47),所述出气口(41)和进气口(47)设置在镀膜室(7)内。

7.根据权利要求1所述的光学塑料基板镀膜装置,其特征在于,所述降温设备(13)设置在壳体(1)的最低端内侧壁上。

8.一种包括权利要求1-7任一所述的光学塑料基板镀膜装置的光学塑料基板镀膜系统。

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