[实用新型]一种适用于真空炉反应管的密封装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于真空炉反应管的密封装置，包括金属炉门和石英管，所述金属炉门和石英管之间设置有一个两端均开设有密封沟槽的金属过渡法兰，垂直于所述金属过渡法兰轴向方向上设有真空抽气口，所述密封沟槽内均嵌有O型密封圈，所述O型密封圈附近设有水冷管沟槽，所述水冷管沟槽内嵌有缠绕式水冷管道；所述石英管的管口部位设有法兰式石英管口，所述法兰式石英管口一侧设置有使所述法兰式石英管口与O型密封圈贴合的石英管压块，本实用新型通过组合式密封结构结合对密封圈进行水冷设计实现了真空炉反应管在真空、高温环境下的可靠密封，结构简单，实施简便，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及电子半导体工艺生产专用装备领域，具体为一种适用于真空炉反应管的密封装置。

背景技术

真空炉是在真空环境中对制品进行热处理的设备，常在真空环境中对制品进行加热、保温和冷却处理。根据工艺需要，在工艺过程中，需要利用真空抽气系统使反应管中的气体达到一定的真空度，使之能满足制品的工艺条件(不同制品对真空度的需求不同)。

真空炉反应管在炉口设有炉门，炉门在驱动机构的作用下可打开和关闭，工艺前，炉门打开，送料机构(送料浆)将载有制品的载料盘送入炉管内，炉门关闭，接着进行电加热和抽真空。工艺过程中，真空炉反应管的压力为负压，工艺过程中反应管的密封性要求极高，如果密封不良，一方面可能无法形成工艺所需要的真空环境，不能满足工艺的真空度要求；另一方面，在外部大气压力作用下，反应管外气体、杂质等可进入反应管中，严重影响制品的质量，导致产品报废。在密封设计中，常采用密封圈实现结构的密封，然而，真空退火炉工作腔工作环境具有一定的特殊性，工作过程中，需要采用真空抽气系统抽气使反应管中的气体达到一定的真空度，且工艺过程中炉管温度很高，需通过加热将真空炉反应腔温度升至600-800度，在如此高的温度环境下，密封圈直接跟炉管接触很容易因温度过高而熔化损坏，导致密封失效，所以在实现高温真空炉工作腔密封时需要考虑到工作环境的特殊性，既要考虑投气管路的结构布置，又需要考虑密封结构的耐高温设计，如何实现真空炉反应管在低压、高温环境下的可靠密封，是真空炉设备的关键技术之一。

传统的真空炉设备采用炉门与石英管通过密封圈直接接触密封的方式，炉管温度很高，密封圈直接跟炉管接触很容易因温度过高而熔化损坏，导致密封失效，可靠性差。

发明内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种适用于真空炉反应管的密封装置，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种适用于真空炉反应管的密封装置，包括金属炉门和石英管，所述金属炉门和石英管之间设置有一个两端均开设有密封沟槽的金属过渡法兰，垂直于所述金属过渡法兰轴向方向上设有真空抽气口，所述密封沟槽内均嵌有O型密封圈，所述O型密封圈附近设有水冷管沟槽，所述水冷管沟槽内嵌有缠绕式水冷管道；

所述石英管的管口部位设有法兰式石英管口，所述法兰式石英管口一侧设置有使所述法兰式石英管口与O型密封圈贴合的石英管压块。

进一步地，所述石英管压块与所述法兰式石英管口的接触部位设置有分散受力的橡胶垫圈。

进一步地，所述石英管压块的一侧设有用于使所述石英管压块压紧法兰式石英管口的弹簧装置。

进一步地，所述O型密封圈与橡胶垫圈均为氟橡胶材质。

进一步地，所述石英管与金属过渡法兰交界处的石英管表面设有隔热包。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)双O圈组合式密封结构实现炉管的可靠密封