[实用新型]一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜

权利要求书

1.一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道；所述阴极靶材和阳极基片上、下平行设置，所述阴极靶材和阳极基片之间设置有所述辊道，所述阳极基片的下方设置有进气圆盘；

两个所述辊道前、后相对设置，所述辊道包括两个上滚轮和两个下滚轮，两个所述上滚轮分别与两个下滚轮上、下一一对应安装，两个所述上滚轮之间和两个下滚轮之间均设置有履带，所述上滚轮与壳体上壁之间设置有支撑杆I，所述下滚轮与壳体下壁之间设置有支撑杆II，所述支撑杆I包括管槽I、滑竿I、弹簧I和丝杆，所述滑竿I的下端与上滚轮固接，所述管槽I的上端与壳体上壁垂直固接，所述滑竿I的上端延伸至管槽I中并与管槽I内壁之间滑动配合，所述丝杆的上端穿过壳体上壁并且与壳体上壁之间螺接配合，所述丝杆的上端设置有旋钮，所述丝杆的下端延伸至管槽I中，所述丝杆的下端与滑杆I的上端之间设置有所述弹簧I；所述支撑杆II包括管槽II、滑竿II和弹簧II，所述管槽II的下端垂直固定在壳体下侧壁上，所述滑竿II的上端与下滚轮固定，所述滑竿II的下端延伸至管槽II中并与管槽II内壁之间滑动配合，所述滑竿II的下端与壳体下侧壁之间设置有所述弹簧II。

2.根据权利要求1所述一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：所述进气圆盘下侧设置有螺纹轴，所述进气圆盘的上侧均匀设置有若干个气孔，所述螺纹轴的上端与进气圆盘的中央固接，所述螺纹轴的下端与壳体下侧壁滑动配合，所述螺纹轴的中进气通道，若干个所述气孔均与进气通道连通。

3.根据权利要求2所述一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：所述壳体的下侧还设置有电机和进气管，所述电机与螺纹轴通过齿轮传动配合，所述进气管延伸至进气通道中。

4.根据权利要求1所述一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：所述壳体的左侧壁设置有进料口，所述壳体的右侧壁设置与出料口，所述进料口和出料口水平相对安装，所述进料口与出料口的位置均设置有吸气机。

5.一种安全防爆膜，其特征在于：所述安全防爆膜采用权利要求1～4任一项所述安全防爆膜均匀溅射镀膜装置加工而成。