[实用新型]单晶炉可升降炉室波纹管延伸机构

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉可升降炉室波纹管延伸机构，包括水平调整框架、波纹管和固定板，所述水平调整框架包括支撑柱、支撑座和连接在支撑座上的下法兰，所述支撑柱的两端分别连接在支撑座和固定板上，所述波纹管的两端分别连接在下法兰和升降板上，所述升降板上连接有提升装置，所述提升装置包括设置在支撑座上的卷扬机、一端连接在升降板上且另一端连接在卷扬机上的牵引绳。波纹管升降装置采用牵引绳和卷扬机的结构，利用卷扬机对牵引绳的提升作用实现升降板的升降控制，从而实现波纹管的伸缩控制，其结构简单，不需要设置光轴和丝杆的结构。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，具体涉及单晶炉可升降炉室波纹管延伸机构。

背景技术

单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，可用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。为了适应高效节能的设备发展趋势，现有工艺采用一炉多根的结构，以降低石英坩埚的生产成本。一味的增加副炉室长度，提拉头相对位置偏高，软轴转动会出现晃动较大现象，意味着拉晶转速已经接近于共振区域。如何既能提高产能，又能保证其稳定性，申请号为201721018810.5提出了以下结构，其采用波纹管，波纹管一端安装在升降板上，另一端安装在水平调整框架的下法兰上，升降板通过电机驱动丝杆转动控制升降板的升降达到对波纹管升缩的控制，但是，采用电机驱动丝杆转动的方式，需要设置光轴和丝杆的结构，其结构复杂。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述技术问题提供一种单晶炉可升降炉室波纹管延伸机构。

本实用新型通过下述技术方案实现：

单晶炉可升降炉室波纹管延伸机构，包括水平调整框架、波纹管和固定板，所述水平调整框架包括支撑柱、支撑座和连接在支撑座上的下法兰，所述支撑柱的两端分别连接在支撑座和固定板上，所述波纹管的两端分别连接在下法兰和升降板上，所述升降板上连接有提升装置，所述提升装置包括设置在支撑座上的卷扬机、一端连接在升降板上且另一端连接在卷扬机上的牵引绳。本方案的波纹管升降装置采用牵引绳和卷扬机的结构，利用卷扬机对牵引绳的提升作用实现升降板的升降控制，从而实现波纹管的伸缩控制。采用该结构，其结构简单，不需要设置光轴和丝杆的结构。

作为优选，为了提高波纹管升缩的平稳性，所述提升装置有两套且分别置于波纹管直径的两端。

作为优选，为了提高波纹管伸长的可靠性，所述升降板上固定有配重板。卷扬机提升牵引绳实现对波纹管缩短的控制，卷扬机释放牵引绳时，在升降板自身的重力作用下，实现波纹管的伸长，利用配重板加重质量，提高升降板下降的可靠性。

作为优选，为了便于对配重板根据使用情况进行更换，所述配重板通过螺栓固定在升降板上。

作为优选，为了避免升降板和配重板对波纹管升降的影响，所述升降板和配重板均成环状。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

1、本实用新型波纹管升降装置采用牵引绳和卷扬机的结构，利用卷扬机对牵引绳的提升作用实现升降板的升降控制，从而实现波纹管的伸缩控制，采用该结构，其结构简单，不需要设置光轴和丝杆的结构。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。

图1为本实用新型的结构示意图。

图中的附图标记为：

1、波纹管；2、固定板；31、支撑柱；32、支撑座；33、下法兰；4、升降板；5、卷扬机；6、牵引绳；7、配重板。

具体实施方式