[实用新型]一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置

说明书

本实用新型提供一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，包括挂杆，插套，清洗液泵，硅片插架，滑动杆，定位套，滤筒，滤筒盖，喷水管和电热风机；所述清洗筒的底部焊接固定有一处聚水罩，此聚水罩与清洗筒的交界处焊接支撑有一处安装环板，且三处电动推杆就呈环形阵列支撑安装于安装环板的顶端；所述滤筒盖螺纹拧紧于排水方管底部的开口螺纹圆管；所述定位套的后侧板面上还支撑焊接有一处挂钩，且滑动杆的后端钩框可转动钩挂于此挂钩上，本实用新型滤筒的设置，滤筒能够过滤盛液筒内部清洗掉的杂质，且杂质会被截留其内部，只需将滤筒盖松开即可将滤筒抽拉取出对截留杂质进行方便的倾倒冲洗。

技术领域

本实用新型属于硅片净洗设备技术领域，更具体地说，特别涉及一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置。

背景技术

随着大规模集成电路的发展、集成电路的集成度不断提高、线宽不断减小，集成电路对硅片表面的洁净度、表面化学态、氧化膜厚度的要求也越来越高。硅片在进行试验测试时必须经严格清洗，否则即使微量污染也会导致后续检测数据的偏差，进而这就需要一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置。

经过检索例如专利号为CN207781552U的专利，公开了一种硅片制绒工艺处理技术领域，尤其是一种制绒后硅片清洗检测装置，包括PLC控制器、电阻率测试仪、报警器及装有纯水的慢提拉槽体，慢提拉槽体的上端具有溢流口，慢提拉槽体的溢流口处连通有溢流管，电阻率测试仪用于检测溢流管中液体的电阻率，PLC控制器分别与电阻率测试仪及报警器信号连接，本实用新型通过将硅片放入到装有纯水的慢提拉槽体中，然后巧妙的利用电阻率测试仪检测慢提提拉槽体中所溢流出的液体的电阻率是否发生变化，从而获知硅片是否清洗干净，确保制绒后的硅片经水洗、酸洗及再次水洗其表面不在残留化学药液，有效的避免了后续制绒后的硅片被污染的问题及对后续工艺造成影响，进而提高太阳能电池的转换效率。

基于上述专利并结合现有技术本实用新型人发现，现有的设备虽然能够进行常规的净洗设备使用，但是其在实际应用中存在，功能集成较少，不能够一次性的进行清洗，清水冲洗以及烘干，使用较为繁琐不便，且清洗的效果较差，另外对清洗液杂质的滤净效果较差，不便于对截留杂质进行清理的问题。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，以解决现有硅片净洗设备功能集成较少，不能够一次性的进行清洗，清水冲洗以及烘干，使用较为繁琐不便，且清洗的效果较差，另外对清洗液杂质的滤净效果较差，不便于对截留杂质进行清理的问题。

本实用新型实验室检测用的硅片翻转冲洗装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：