[实用新型]带气动挡板的阴极电弧源有效

申请号：	201821728876.8	申请日：	2018-10-24
公开（公告）号：	CN209010592U	公开（公告）日：	2019-06-21
发明（设计）人：	王汉春;张金兴;罗来山	申请（专利权）人：	金山莱宝（厦门）科技有限公司
主分类号：	C23C14/32	分类号：	C23C14/32
代理公司：	南昌赣专知识产权代理有限公司 36129	代理人：	张文宣
地址：	361021 福建省厦***	国省代码：	福建;35
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摘要：
搜索关键词：	阴极电弧源气动挡板法兰座支架杆屏蔽上板本实用新型旋转气缸密封件密封驱动支架杆转动接触处密封件外边沿靶材镀制空炉转动清洗穿过节约
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【权利要求书】：

1.带气动挡板的阴极电弧源，包括法兰座(1)和阴极电弧源本体(100)，所述阴极电弧源本体(100)固定在所述法兰座(1)上，其特征在于：

还包括气动挡板(5)；

所述气动挡板(5)包括支架杆(51)、驱动所述支架杆(51)转动的旋转气缸(52)、密封件(53)、以及屏蔽上板(54)；

所述支架杆(51)穿过所述法兰座(1)，且能够相对所述法兰座(1)转动；

所述支架杆(51)的一端与所述旋转气缸(52)固定连接；

所述支架杆(51)的另一端与所述屏蔽上板(54)的外边沿固定连接；

所述屏蔽上板(54)位于所述阴极电弧源本体(100)的上方；

所述支架杆(51)与所述法兰座(1)的接触处通过所述密封件(53)密封。

2.根据权利要求1所述的带气动挡板的阴极电弧源，其特征在于：

所述阴极电弧源本体(100)包括阴极座(2)、调节套(3)、以及永磁体(4)，所述阴极座(2)固定在法兰座(1)上，所述调节套(3)通过阴极座(2)安装固定在法兰座(1)的一侧，所述阴极座(2)的中部固定有磁铁座(14)，且所述磁铁座(14)位于所述法兰座(1)的另一侧，所述永磁体(4)的一部分或者全部位于所述磁铁座(14)内，且与所述磁铁座(14)滑动配合；

所述屏蔽上板(54)位于所述调节套(3)的上方。

3.根据权利要求1所述的带气动挡板的阴极电弧源，其特征在于：

所述密封件(53)包括两个铜环(531)和两个胶圈(532)；

两个所述铜环(531)和两个所述胶圈(532)交错分布。

4.根据权利要求1所述的带气动挡板的阴极电弧源，其特征在于：

还包括电磁阀(6)、继电器(7)、以及PLC(8)；

所述电磁阀(6)与所述旋转气缸(52)电性连接；

所述继电器(7)与所述电磁阀(6)电性连接；

所述PLC(8)与所述继电器(7)电性连接。

5.根据权利要求4所述的带气动挡板的阴极电弧源，其特征在于：

还包括触摸屏(9)；

所述触摸屏(9)与所述PLC(8)电性连接。