[实用新型]硅片多线切割机的喷淋装置

说明书

本实用新型公开了一种结构简单，能够使得冷却液均匀洒在切割线上的硅片多线切割机的喷淋装置。该硅片多线切割机的喷淋装置，包括喷淋装置本体，所述喷淋装置本体上设置有横向的补液槽以及溢流槽，所述溢流槽的开口高度低于补液槽；所述溢流槽底部设置有连通补液槽底部的通孔；所述补液槽的开口处设置有盖板；所述盖板中间位置设置有连通补液槽的补液管；所述溢流槽的开口的一侧设置有向下倾斜的溢流板；所述喷淋装置本体的两端设置有安装板。采用该硅片多线切割机的喷淋装置，能够使得切割线均匀散热，延长切割线的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割，尤其是一种硅片多线切割机的喷淋装置。

背景技术

众所周知的：硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片切割技术。

其中钢线在对硅片进行切割时，由于摩擦会使得钢线的温度升高，因此为了降低钢线的温度一般均设置有钢线冷却液喷淋装置，现有的冷却液喷淋装置大多都采用喷头；由于喷头的位置固定，因此使得导线辊上的钢线网中每条钢线接收到的冷却液不均匀因此会造成钢线各个部位的温度不均，从而降低钢线的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单，能够使得冷却液均匀洒在切割线上的硅片多线切割机的喷淋装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：硅片多线切割机的喷淋装置，包括喷淋装置本体，所述喷淋装置本体上设置有横向的补液槽以及溢流槽，所述溢流槽的开口高度低于补液槽；所述溢流槽底部设置有连通补液槽底部的通孔；所述补液槽的开口处设置有盖板；所述盖板中间位置设置有连通补液槽的补液管；所述溢流槽的开口的一侧设置有向下倾斜的溢流板；所述喷淋装置本体的两端设置有安装板。

进一步的，所述溢流槽开口的一侧设置有水平延伸板，所述水平延伸板位于溢流板一端的上方，所述溢流板的一端与溢流槽的一侧铰接；所述溢流槽一侧下方的喷淋装置本体上设置有支撑杆；所述溢流板的下表面设置有沿溢流板长度方向均匀分布的卡槽；所述支撑杆的一端与喷淋装置本体铰接，另一端延伸到卡槽内。

进一步的，所述补液槽的底部设置有排污口，所述排污口在喷淋装置本体的一侧具有出口，所述出口设置有堵塞。

进一步的，所述溢流板的上方设置有防尘罩。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的硅片多线切割机的喷淋装置，由于设置有连通的补液槽和溢流槽，在溢流槽的一侧设置有溢流板，因此通过向补液槽内添加冷却液，冷却液会由溢流槽开口较低的一侧溢出，溢出的冷却液在溢流板上向下流，脱离溢流板后形成水帘，因此使得水帘下方的切割线接收到的冷却液均匀，从而保证对切割线的散热均匀，避免切割线部位温度过高，从而能够有效的延长切割线的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型实施例中硅片多线切割机的喷淋装置的立体图；

图2是本实用新型实施例中硅片多线切割机的喷淋装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例中硅片多线切割机的喷淋装置溢流板角度可调时的结构示意图；

图中标示：1-喷淋装置本体，2-补液槽，3-溢流槽，4-溢流板，5-盖板，6-补液管，7-通孔，8-安装板，9-防尘罩，10-排污口，11-堵塞，12-支撑杆，13-卡槽。

具体实施方式