[实用新型]一种变幅杆多点聚焦式水冷探头

权利要求书

1.一种变幅杆多点聚焦式水冷探头，其特征在于，包括阻尼固定组件(1)、电极绝缘环(2)、晶片护片组件(3)、金属环(4)、护套组件(5)和水套护套(6)；

护套组件(5)为中空圆柱形，外表面中间和顶端分别设有第一环(10)和第二环(11)，护套组件(5)位于第一环(10)和第二环(11)之间的部分均匀设有若干椭圆形槽，第一环(10)和第二环(11)上均开有两个冷却液管孔且位置相对，两根冷却液管穿过相对的两个冷却液孔伸出；

电极绝缘环(2)设置在护套组件(5)内部；阻尼固定组件(1)设置在护套组件(5)的底端开口处并由螺钉固定，使得阻尼固定组件(1)与护套组件(5)的底端开口持平，且阻尼固定组件(1)安装有弹簧的一端朝内；

晶片护片组件(3)为柱形，晶片护片组件(3)的一端通过金属环(4)与护套组件(5)的顶端开口密封连接，晶片护片组件(3)的另一端伸出护套组件(5)外，且所述晶片护片组件(3)的另一端端面为能量输出面(8)；

水套护套(6)密封套设在晶片护片组件(3)与第二环(11)之间，晶片护片组件(3)、水套护套(6)、第二环(11)之间形成类环形空腔，所述空腔内部填充有制冷剂。

2.根据权利要求1所述的变幅杆多点聚焦式水冷探头，其特征在于，电极绝缘环(2)上均匀开有圆孔。

3.根据权利要求1所述的变幅杆多点聚焦式水冷探头，其特征在于，晶片护片组件(3)伸出护套组件(5)外的部分开有若干环形槽。

4.根据权利要求1所述的变幅杆多点聚焦式水冷探头，其特征在于，金属环(4)为镀银铜丝环。

5.根据权利要求1所述的变幅杆多点聚焦式水冷探头，其特征在于，冷却液管为半透明软管(7)。

6.根据权利要求1所述的变幅杆多点聚焦式水冷探头，其特征在于，晶片护片组件(3)的能量输出面(8)上设有若干个半径相同的半球形开口(9)，且半球形开口(9)呈蜂窝式排列。