[实用新型]一种用于自动上料机的载盘定位装置

说明书

本实用新型公开了一种用于自动上料机的载盘定位装置，定位装置，包括载盘放置区，在所述载盘放置区外延边界处设有定位柱；载盘，其放置在载盘放置区内，且载盘外延设有与定位柱相匹配的定位凹口；推拉式锁紧装置，其安装在定位装置上，通过内推/外拉动作实现对载盘的固定/取放。该装置具有结构简单，实用性强，操作方便，通过三点定位，保证载盘的固定。

技术领域

本实用新型涉及晶片自动上料机的载盘固定，具体一种用于自动上料机的载盘定位装置，属于晶片生产设备技术领域。

背景技术

目前PSS对于干法蚀刻的晶片，需要借助于载盘装载后转移至蚀刻机腔体内进行工艺蚀刻，晶片在载盘上的装载一般都是通过人员借助于相关治具进行手动装载；人员手动装载存在着诸多问题，例如人力的投入，人员作业造成的操作失误致使灰尘颗粒掉落在晶片，以及人为造成划伤，这些都会造成产品良率的下降。

现有的晶片大多采用自动上料机，自动上料机虽然为自动化设备，但是其还是需要人员介入操作；人员需要将待装载的载盘手动放置于定位装置的载盘放置区；手动将载盘放置于载盘放置区然后进行定位销的固定， 载盘放置于定位装置的载盘放置区，载盘的凹口与定位装置的定位柱对齐，再通过三个定位块进行载盘的定位，定位块采用螺丝进行定位块的固定；该定位方式在实际使用中存在的问题：长时间的使用，即载盘多次取放后，会造成定位块上的螺丝松动，从而引起定位块的松动，造成载盘的摆放位置偏差，甚至于造成晶片破片的严重后果。

发明内容

本实用新型的目的在于解决自动上料机的载盘定位不够精准，导致后期上料出现晶片位置偏移的问题。

通过如下技术方案实现：一种用于自动上料机的载盘定位装置，

定位装置，包括载盘放置区，在所述载盘放置区外延边界处设有定位柱；

载盘，其放置在载盘放置区内，且载盘外延设有与定位柱相匹配的定位凹口；

推拉式锁紧装置，其安装在定位装置上，通过内推/外拉动作实现对载盘的固定/取放。

作为本实用新型所述的载盘定位装置的一种优化方案：所述推拉式锁紧装置，包括固定安装在定位装置上的固定块，以及设有导向凹槽的滑块；

所述固定块上设有导向块，且导向块安装在所述滑块上的导向凹槽内；所述滑块可沿导向凹槽方向往返移动。

作为本实用新型所述的载盘定位装置的一种优化方案：所述导向块横截面为T字型或十字型或四边形。

作为本实用新型所述的载盘定位装置的一种优化方案：所述导向凹槽与导向块相匹配。

作为本实用新型所述的载盘定位装置的一种优化方案：所述定位装置为圆形，其上所述定位柱由两个组成，分别位于定位装置上的2点钟和10点钟方位。

作为本实用新型所述的载盘定位装置的一种优化方案：所述推拉式锁紧装置位于定位装置上的6点钟方位。

本实用新型有益技术效果，该装置具有结构简单，实用性强，操作方便，通过三点定位，保证载盘的固定。

附图说明

图1是本实用新型定位装置结构示意图；

图2是本实用新型载盘结构示意图；

图3是第一个实施例中推拉式锁紧装置结构示意图；

图4是第一个实施例中滑块结构示意图；

图5是第一个实施例中固定块结构示意图；

图6是第二个实施例中推拉式锁紧装置结构示意图；

图7是第二个实施例中滑块结构示意图；

图8是第二个实施例中固定块结构示意图；