[实用新型]带有报警装置的数控真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了带有报警装置的数控真空镀膜机，属于镀膜机领域，带有报警装置的数控真空镀膜机包括镀膜室和油扩散泵，油扩散泵与镀膜室的底端固定连接，还包括用于冷却油扩散泵的冷却组件、以及控制器，冷却组件上设有防回油报警件，防回油报警件与控制器电性连接，镀膜室上设有高温报警件，高温报警件与控制器电性连接，控制器与油扩散泵电性连接。本实用新型的带有报警装置的数控真空镀膜机报警及时，安全性高。

技术领域

本实用新型属于镀膜机领域，尤其涉及一种带有报警装置的数控真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机常采用油扩散泵进行抽真空，油扩散泵的返油现象一直是使用油扩散泵需要注意的问题，当冷却水不足时，必须关闭油扩散泵，否则轻则会造成返油，重则会使油扩散泵过热造成油扩散泵油烧焦。这就需要在冷却水不足时及时报警，以便于进行冷却水的添加和油扩散泵的关闭，确保真空镀膜机的安全性，并且真空室的温度过高也存在安全问题，需要进行及时报警。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种带有报警装置的数控真空镀膜机，报警及时，安全性高。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的带有报警装置的数控真空镀膜机，包括镀膜室和油扩散泵，油扩散泵与镀膜室的底端固定连接，还包括用于冷却油扩散泵的冷却组件、以及控制器，冷却组件上设有防回油报警件，防回油报警件与控制器电性连接，镀膜室上设有高温报警件，高温报警件与控制器电性连接，控制器与油扩散泵电性连接。

本实用新型优选地技术方案在于，防回油报警件包括液位传感器和报警灯，液位传感器与控制器电性连接，控制器与报警灯电性连接。

本实用新型优选地技术方案在于，冷却组件包括水箱、L型连接管、以及冷却水管，冷却水管绕设在油扩散泵的外侧壁上，L型连接管的一端与冷却水管固定连接，L型连接管的另一端插进水箱的内部，液位传感器固定在水箱内侧壁的下方，报警灯固定在水箱的外侧壁上。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括进水管和电磁阀，进水管固定连通在水箱上，进水管上设有电磁阀，电磁阀与控制器电性连接。

本实用新型优选地技术方案在于，高温报警件包括温度传感器和蜂鸣器，温度传感器固定在镀膜室的内部，蜂鸣器固定在镀膜室的外侧壁上，温度传感器与控制器电性连接，控制器与蜂鸣器电性连接。

本实用新型优选地技术方案在于，温度传感器共4个，且分别固定在镀膜室内侧壁的四个角上。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括机台，镀膜室和控制器均固定在机台的顶部，油扩散泵固定在机台的内部，水箱固定在机台的侧壁上，L型连接管穿过机台侧壁与冷却水管相连接。

本实用新型优选地技术方案在于，油扩散泵的出气口连接有出气软管，出气软管的出气端固定在机台的侧壁上，且穿过机台的侧壁与外界连通。

本实用新型优选地技术方案在于，机台的侧壁上开设有通风孔。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的带有报警装置的数控真空镀膜机，通过液位传感器的检测和报警灯的灯光警示，提醒操作人员进行冷却水的添加，避免由于冷却水不足造成的返油现象和油扩散泵过热造成的油烧焦。通过温度传感器的检测和蜂鸣器的声音警示，提醒操作人员进行降温处理，提高安全性，并且通过控制器统一控制，无需人工实时观察，警报及时。电磁阀的设置结合控制器，便于冷却水的添加。4个温度传感器的设置避免单个温度传感器造成的检测不精准。通风孔的设置提高机台内部与外界空气的流通。