[实用新型]一种安全性高的数控真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种安全性高的数控真空镀膜机，属于真空镀膜机领域，一种安全性高的数控真空镀膜机包括镀膜室和循环水冷却组，镀膜室的侧壁开设有冷却水腔，镀膜室的内侧壁固定有若干管壳，每个侧壁上相邻的两个管壳之间均通过连接管固定连接，管壳与冷却水腔之间通过通孔连通，冷却水腔与循环水冷却组相连通。本实用新型的安全性高的数控真空镀膜机安全性高。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机领域，尤其涉及一种安全性高的数控真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

真空镀膜机中存在许多安全隐患，在生产过程中需要重视这些安全隐患。其中，镀膜室的温度过高会造成成品合格率下降，并且损坏镀膜室及其内部件，轻则机器部件损坏，重则危及人身财产安全。目前对镀膜室进行冷却方式大多采用在镀膜室外设冷却管，在冷却管内通过冷却水进行冷却，这种在外冷却的方式冷却速度慢，安全性不高。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种安全性高的数控真空镀膜机，安全性高。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种安全性高的数控真空镀膜机，包括镀膜室和循环水冷却组，镀膜室的侧壁开设有冷却水腔，镀膜室的内侧壁固定有若干管壳，每个侧壁上相邻的两个管壳之间均通过连接管固定连接，管壳与冷却水腔之间通过通孔连通，冷却水腔与循环水冷却组相连通。

本实用新型优选地技术方案在于，循环水冷却组包括冷却水进水管、冷却塔、冷却水出水管、以及循环水泵，冷却水进水管的一端固定连通在镀膜室外侧壁的下方，冷却水进水管的另一端与冷却塔的出水端固定连通，冷却水出水管的一端固定连通在镀膜室外侧壁的上方，冷却水出水管的另一端与冷却塔的进水端固定连通，循环水泵设在冷却水出水管上。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括抽真空组，抽真空组与镀膜室固定连通。

本实用新型优选地技术方案在于，抽真空组包括连接管和油扩散泵，连接管的一端与镀膜室固定连通，连接管的另一端与油扩散泵固定连通。

本实用新型优选地技术方案在于，抽真空组还包括用于防止油扩散泵返油的低温冷阱，低温冷阱固定在油扩散泵的泵口端。

本实用新型优选地技术方案在于，抽真空组还包括电磁加热组，电磁加热组固定在连接管上。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括安装板和支腿，镀膜室、循环水冷却组、以及抽真空组均固定在安装板上，支腿固定在安装板的下表面。

本实用新型优选地技术方案在于，支腿的下表面胶接有防滑垫。

本实用新型优选地技术方案在于，防滑垫的下表面具有交叉设置的防滑纹。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括观察窗，观察窗嵌设在镀膜室的侧壁上。

本实用新型的有益效果为：