[实用新型]自动循环喷淋硅片切割机有效

专利信息
申请号: 201821741793.2 申请日: 2018-10-24
公开(公告)号: CN210616985U 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 陈五奎;刘强;耿荣军;陈辉;石平 申请(专利权)人: 乐山新天源太阳能科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D5/00
代理公司: 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 代理人: 李玉兴
地址: 614000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 自动 循环 喷淋 硅片 切割机
【说明书】:

实用新型公开了一种能够对切削液进行循环喷淋,同时能够使得切削液均匀洒在切割线上的自动循环喷淋硅片切割机。该自动循环喷淋硅片切割机包括机架,所述机架上设置有加料腔,所述加料腔的顶部设置有晶拖连接头;机架的下部设置有两个轴线相互平行的导线辊;所述两个导线辊之间设置有接料盒;接料盒下方设置有布线装置;所述导线辊上方设置有喷淋装置;所述机架的一侧设置有绕线装置;所述料盒内设置有过滤网;所述机架的一侧设置有水泵;所述料盒内腔的底部通过导管与水泵连通;所述水泵与切削液存储箱连通;所述切削液存储箱通过供液泵与喷淋装置连通;采用该自动循环喷淋硅片切割机能够延长切割线寿命,能够减少切削液的用量,降低成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割,尤其是一种自动循环喷淋硅片切割机。

背景技术

众所周知的:硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于先进的激光切割和内圆切割,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有:效率高,产能高,精度高等优点。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片切割技术。但是由于钢线要经过多个滑轮的引导,因此增加了钢线的摩擦,从而使得钢线使用寿命较短。

其次,现有的喷淋装置无法实现切削液的循环使用,因此切削液消耗量较大,切削成本较高。

再次,其中钢线在对硅片进行切割时,由于摩擦会使得钢线的温度升高,因此为了降低钢线的温度一般均设置有钢线切削液喷淋装置,现有的切削液喷淋装置大多都采用喷头;由于喷头的位置固定,因此使得导线辊上的钢线网中每条钢线接收到的切削液不均匀因此会造成钢线各个部位的温度不均,从而降低钢线的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够对切削液进行循环喷淋,同时能够使得切削液均匀洒在切割线上的自动循环喷淋硅片切割机。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:自动喷淋硅片切割机,包括机架,所述机架上设置有加料腔,所述加料腔的顶部设置有晶拖连接头,所述加料腔的上方设置有竖向伸缩装置以及切削液存储箱,所述竖向伸缩装置的伸缩轴与晶拖连接头连接;所述机架的下部设置有两个轴线相互平行的导线辊,所述导线辊与机架转动配合;所述两个导线辊之间设置有接料盒;所述机架上设置有取料口,所述取料口位于接料盒的一端;所述接料盒下方设置有布线装置;所述导线辊上方设置有喷淋装置;所述机架的一侧设置有绕线装置;

所述料盒内设置有过滤网;所述机架的一侧设置有水泵;所述料盒内腔的底部通过导管与水泵连通;

所述水泵与切削液存储箱连通;所述切削液存储箱通过供液泵与喷淋装置连通;

所述喷淋装置包括安装板;所述安装板的一端的下表面设置有补液箱,另一端的下表面设置有布液板;所述补液箱上设置有补液管;所述布液板与补液箱之间设置有横向均匀分布的喷头安装座;所述喷头安装座上设置有第一转轴;所述第一转轴上固定安装有喷头旋转座;所述第一转轴一端穿过喷头安装座,另一端设置有驱动电机;所述喷头旋转座上设置有喷头;所述喷头通过软管与补液箱连通;所述切削液存储箱通过供液泵与补液管连通;所述喷头的喷淋方向指向布液板;

所述布液板通过第二转轴与安装板铰接;所述第二转轴的一端设置有转杆;所述转杆的一端与第二转轴固定连接,另一端为弧形端面;所述安装板上方设置有倒U形安装槽,所述转杆具有弧形端面的一端延伸到倒U形安装槽内;所述转杆的两侧均安装有锲块;所述锲块位于倒U形安装槽内,所述倒U形安装槽顶部设置有两根锁紧螺栓;所述锁紧螺栓一端插入到倒U形安装槽内,且与锲块接触;所述锲块与锁紧螺栓一一对应;

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