[实用新型]基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器有效
申请号: | 201821743065.5 | 申请日: | 2018-10-26 |
公开(公告)号: | CN208984269U | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 娄帅;刘术林;费友健;刘召利 | 申请(专利权)人: | 江西新力传感科技有限公司 |
主分类号: | G01L7/08 | 分类号: | G01L7/08 |
代理公司: | 南昌赣专知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 张文宣 |
地址: | 330100 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷基板 压力敏感芯片 压力传感器 厚膜电路 芯片介质 倒装焊 隔离型 壳体 本实用新型 柔性电路板 玻璃釉层 填充层 边卡 焊点 应用范围广 印刷 倒装焊接 周边设置 附着 耐受 通孔 | ||
1.一种基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器,包括壳体(8)和设于壳体(8)内侧的陶瓷基板(1),所述壳体(8)的底部设有可供介质进入的通孔,其特征在于:
所述陶瓷基板(1)的底部印刷有厚膜电路,所述厚膜电路的外侧还印刷有玻璃釉层(2);所述陶瓷基板(1)的顶部固定有柔性电路板(5),所述厚膜电路位于所述玻璃釉层(2)外侧的焊点通过边卡(6)连接所述柔性电路板(5);
所述陶瓷基板(1)的底部还倒装焊接有MEMS压力敏感芯片(3);所述MEMS压力敏感芯片(3)的底部及周边设置有填充层(4),所述填充层(4)附着在所述MEMS压力敏感芯片(3)底部及四周。
2.根据权利要求1所述的基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器,其特征在于:
所述陶瓷基板(1)的底部与所述壳体(8)之间还设置有O型圈(7),通过所述O型圈(7)的压缩实现所述陶瓷基板(1)与所述壳体(8)之间的密封。
3.根据权利要求1所述的基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器,其特征在于:
所述填充层(4)采用环氧层或是玻璃层。
4.根据权利要求1所述的基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器,其特征在于:
所述边卡(6)为U型结构,所述边卡(6)通过其凹槽卡设在所述陶瓷基板(1)的一侧;所述边卡(6)的底部端点焊接在所述厚膜电路的焊点上,所述边卡(6)的顶部端点焊接在所述柔性电路板(5)的连接处。
5.根据权利要求4所述的基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器,其特征在于:
所述边卡(6)采用镀锡铜材质。
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