[实用新型]一种化学浴沉积实验装置

权利要求书

1.一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：框架(11)呈框状结构，摆动平台(12)设于所述框状结构内，转轴(14)贯穿所述摆动平台(12)设置并与所述摆动平台(12)固连，其一端与所述框架(11)转动连接，另一端与固设与所述框架(11)上的步进电机(13)的输出端固连；

加热台(3)设于所述摆动平台(12)上，反应仓(4)设于所述加热台(3)上，所述加热台(3)和所述反应仓(4)通过卡具(2)与所述摆动平台(12)连接固定；所述框架(11)底部设各支脚(15)，并通过各所述支脚(15)支撑固定。

2.根据权利要求1所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述反应仓(4)呈密封结构，其顶部设有透明窗(41)，所述透明窗(41)用于观察所述反应仓(4)内的反应情况。

3.根据权利要求2所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述反应仓(4)通过第一管道与惰性保护气体气源连通，所述第一管道上设置第一阀门。

4.根据权利要求2所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述反应仓(4)通过第二管道与前驱液反应器连通，所述第二管道上设置第二阀门。

5.根据权利要求2所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：废液回收容器通过第三管道连通至所述反应仓(4)底部，所述第三管道上设置第三阀门。

6.根据权利要求2所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：机械泵通过第四管道连通至所述反应仓(4)底部。

7.根据权利要求1所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述框架(11)上设置控制按钮(17)，所述控制按钮(17)与所述步进电机(13)数据连通，用于控制所述步进电机(13)的工作。

8.根据权利要求1所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述反应仓(4)由聚四氟乙烯制成。

9.根据权利要求1所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述转轴(14)的转动角度不超过30°。

10.根据权利要求1所述的一种化学浴沉积实验装置，其特征在于：所述支脚(15)底端设滑轮(16)。