[实用新型]一种防护罩及真空腔室

说明书

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种防护罩及真空腔室，防护罩包括分流板，分流板盘绕形成螺旋结构，螺旋结构的螺旋半径自下而上逐渐减小，且螺旋结构的顶部封闭，分流板自螺旋结构的外缘向中心逐渐向上倾斜，相邻的两层分流板之间具有空隙形成通风道，且上层分流板的外沿在垂直于下层分流板方向上的投影落于下层分流板上。本实用新型在不影响泵体正常工作的同时，不仅能避免大颗粒碎块进入泵体，也可以阻挡小碎渣、冷凝液体、小颗粒等进入泵体，避免泵体被损坏。螺旋结构的分流板对气流阻碍作用相对更小，螺旋结构与真空泵气流旋向一致，更利于气流流动，便于真空泵抽气。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种防护罩及真空腔室。

背景技术

真空腔室真空获得多采用干泵、罗茨泵、分子泵等一种或多种组合方法，真空泵多安装在腔室顶部、侧壁或者底部，如果安装在底部，可能会有基片碎片、冷却水或其他固体杂物掉落在腔室底部并被吸入到真空泵里，造成真空泵损坏。目前多采用在泵口安装过滤筛或金属滤网来防止颗粒落入真空泵中，但此方法仅能避免大颗粒碎块进入真空泵，而小碎块、冷凝液体、小颗粒无法防止。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有的防护装置无法防止小颗粒杂质进入泵体内造成泵体损坏的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种防护罩，包括分流板，所述分流板盘绕形成螺旋结构，所述螺旋结构的螺旋半径自下而上逐渐减小，且所述螺旋结构的顶部封闭，所述分流板自所述螺旋结构的外缘向中心逐渐向上倾斜，相邻的两层所述分流板之间具有空隙形成通风道，且上层所述分流板的外沿在垂直于下层所述分流板方向上的投影落于下层所述分流板上。

其中，所述分流板包括倾斜部和由所述倾斜部的外沿向上延伸形成的延伸部，所述倾斜部与所述延伸部形成的横截面形状为V字形。

其中，所述倾斜部的内沿高于所述延伸部的外沿。

其中，相邻的两层所述分流板中，上层所述延伸部的外沿在垂直于下层所述倾斜部方向上的投影落于下层所述倾斜部上。

其中，还包括固定法兰，所述固定法兰与所述螺旋结构的底部的所述延伸部的外沿连接。

其中，所述固定法兰包括侧壁和底板，所述侧壁与所述底板的形状均为环状，且所述侧壁位于所述底板的内侧，并与所述底板垂直连接，所述侧壁与所述螺旋结构的底部的所述延伸部的外沿连接。

其中，所述侧壁上设有至少一个导流孔，所述导流孔与所述螺旋结构的底部的所述延伸部的外沿相对，以将所述分流板上的阻挡的液体分流到所述侧壁外。

本实用新型还提供了一种真空腔室，包括腔体、真空泵和如上所述的防护罩，所述真空泵的泵口与所述腔体的气孔连通，所述防护罩设置于所述腔体的气孔处，且所述固定法兰与所述腔体连接，所述螺旋结构位于所述腔体的内部。

其中，所述固定法兰的底板的上表面与所述腔体的外壁接触，所述固定法兰的底板的下表面与所述真空泵的泵口连接。

其中，所述防护罩位于所述腔体的内部，所述固定法兰的底板的下表面与所述腔体的内壁接触，所述腔体的外壁与所述真空泵的泵口连接。

其中，所述固定法兰的底板与所述腔体通过紧固件连接。

(三)有益效果