[实用新型]基片固定结构、夹具及夹持系统

说明书

本实用新型提供了一种基片固定结构、夹具及夹持系统。其中，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括：本体，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通；其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进入至基片与基片固定结构之间。本实用新型有效地解决了现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种基片固定结构、夹具及夹持系统。

背景技术

目前，太阳能电池产线设备可分为卧式产线设备和立式产线设备。其中，卧式产线设备为基片和载板沿水平方向经过腔室，由上向下(或由下向上)进行镀膜。立式产线设备为基片和载板沿竖直方向经过腔室，由一侧进行镀膜。与卧式产线设备相比，立式产线设备具有占用空间小，易于操作等特点。

在现有技术中，为了防止基片在镀膜过程中发生脱落，采用在基片后设置在基片固定结构的方式对基片进行固定，即基片夹设在载板与基片固定结构之间，以使基片保持直立的状态。然而，在工作人员取出基片固定结构时，通过会出现基片固定结构将基片一同带起的现象，易造成基片碎裂。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种基片固定结构、夹具及夹持系统，以解决现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种基片固定结构，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括：本体，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通；其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进入至基片与基片固定结构之间。

进一步地，进气孔为锥形孔，锥形孔由第二表面向第一表面延伸以与连通部连通，沿第二表面至第一表面的方向上，锥形孔的孔径逐渐减小；其中，第二表面为本体的与第一表面相对的表面。

进一步地，排气孔为多组，各组排气孔沿本体的边缘设置。

进一步地，连通部包括多个第一通道和多个第二通道，多个第二通道与多个第一通道一一对应地设置，任意一个第一通道与其相应的一个第二通道相连通；任意一个第一通道与其相应的一组排气孔一一对应地设置并相连通。

进一步地，本体为板状结构，连通部还包括第三通道，第三通道沿板状结构的厚度方向延伸；进气孔通过第三通道与多个第二通道连通。

进一步地，本体为多边形板，第一通道为多个，多个第一通道沿多边形板的不同侧边延伸，各第二通道与其相对应的第一通道垂直设置，全部第二通道通过第三通道连接。

进一步地，各第一通道的至少一端贯穿本体，至少一个第二通道的至少一端贯穿本体，基片固定结构还包括：封堵件，设置在第一通道和第二通道的贯穿本体的一端，以对该端进行封堵。

进一步地，本体包括至少一个通孔，通孔与第一通道和第二通道间隔设置。

进一步地，第一表面具有凹部，多组排气孔围绕凹部设置。

根据本实用新型的另一方面，提供了一种夹具，适用于上述的基片固定结构，夹具包括：夹具本体、夹爪、进气管道、第一驱动装置和第二驱动装置；其中，第一驱动装置和第二驱动装置设置在夹具本体上，第一驱动装置用于驱动夹爪以夹持或释放基片固定结构；第二驱动装置与进气管道连接，以驱动进气管道朝向或远离进气孔运动，以使进气管道的排气口与基片固定结构的进气孔相连通，以对进气孔进行供气。

进一步地，夹具还包括：固定板体，第二驱动装置与固定板体驱动连接，进气管道通过固定板体与第二驱动装置连接；弹性半球状结构，设置在固定板体上且位于固定板体朝向进气孔的一侧，弹性半球状结构具有过孔，进气管道穿设在过孔内，部分弹性半球状结构伸入基片固定结构的进气孔内，以使进气管道内的气体进入至进气孔内。