[实用新型]一种单晶硅棒参数自动检测装置

说明书

本实用新型提供的一种单晶硅棒参数自动检测装置，能够自动、精准、快速的测量硅棒电阻率和导电型号。本实用新型所述的一种单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架和设置于机架上的检测输送线，在机架上设置有测试台，测试台包括横向导轨、滑座和纵向导轨、滑架，在滑架上设置有回转架，回转架上设置有电阻测笔和导电型号测笔，电阻测笔与电阻率测试仪连接，导电型号测笔与导电型号测试仪连接，回转架由电机驱动转动。该方案使得电阻测笔和导电型号测笔具有较高的灵活性，即电阻测笔、导电型号测笔相对于机架可以做上下左右及旋转动作，利用该装置可以方便地测量硅棒的电阻率及导电型号，提高了硅棒的检测效率及检测精度。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒检测设备，具体涉及一种单晶硅棒参数自动检测装置，属于半导体检测领域。

背景技术

随着光伏行业及半导体行业的快速发展，单晶硅作为一种重要的原材料，其需求量、产量也在逐年提升。单晶硅的制备需要一系列的工序来完成，经过拉晶、截断、检验、外圆磨削、平面磨削等工序后再将单晶硅棒进行线切片，加工出可用于光伏电池片或半导体基体的硅片。在各工序中，硅棒的检验是一项重要的工序，对硅棒的质量把控起到关键的作用。

硅棒的检验包括直径检测、长度检测、重量检测、斜度检测、电阻率检测、导电型号检测、外观检测等。目前，硅棒的检测仍以人工方式检测为主，检测过程中需要人工搬运、人工测量、人工记录，存在工作效率低、劳动强度大、易出错、安全隐患多等问题。同时，由于人工成本的不断升高，硅棒制造企业也在面临严峻的产品降本压力。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型提供的一种单晶硅棒参数自动检测装置，能够自动、精准、快速的测量硅棒电阻率和导电型号。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架和设置于机架上的检测输送线，在所述机架上还设置有测试台，所述测试台包括横向导轨，在所述横向导轨上设置有沿所述横向导轨移动的滑座，在所述滑座上设置有纵向导轨，在所述纵向导轨上设置有沿所述纵向导轨移动的滑架，所述测试台还包括驱动所述滑座沿所述横向导轨移动的横向驱动机构和驱动所述滑架沿所述纵向导轨移动的纵向驱动机构，在所述滑架上设置有回转架，在所述回转架上设置有电阻测笔和导电型号测笔，所述机架上设置有电阻率测试仪和导电型号测试仪，所述电阻测笔与电阻率测试仪连接，所述导电型号测笔与导电型号测试仪连接，所述滑架上还设置有驱动所述回转架旋转的电机。

本实用新型所述的一种单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架和设置于机架上的检测输送线，在机架上设置有测试台，测试台包括横向导轨、滑座和纵向导轨、滑架，在滑架上设置有回转架，回转架上设置有电阻测笔和导电型号测笔，电阻测笔与电阻率测试仪连接，导电型号测笔与导电型号测试仪连接，回转架由电机驱动转动。该方案使得电阻测笔和导电型号测笔具有较高的灵活性，即电阻测笔、导电型号测笔相对于机架可以做上下左右及旋转动作，利用该装置可以方便地测量硅棒的电阻率及导电型号，大大提高了硅棒的检测效率及检测精度，降低了操作人员的劳动强度。

优选的，所述回转架包括连接板，在所述连接板上设置有滑柱，所述滑柱上设置有沿所述滑柱移动的滑块，在所述连接板上还设置有驱动所述滑块沿所述滑柱移动的气缸，所述电阻测笔和所述导电型号测笔分别固定于所述滑块上。

气缸带动滑块往复直线运动，电阻测笔和导电型号测笔具有更高的灵活度，优化了单晶硅棒参数自动检测装置的性能。

优选的，所述电阻测笔和所述导电型号测笔均通过螺纹固定于所述滑块上，在所述滑块上设置有螺孔。

电阻测笔和导电型号测笔装配方便并且可以方便地更换，有利于单晶硅棒参数自动检测装置的维护。