[实用新型]多晶硅铸锭节能炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭节能炉，包括炉体(1)，所述的炉体(1)内通过若干支撑柱(2)设有水平设置的隔热托板(3)，所述的隔热托板(3)上设有呈环形设置的环形保温罩(4)，所述的环形保温罩(4)上端封闭，所述的环形保温罩(4)周向内侧设有设置在隔热托板(3)上的坩埚(5)，且所述的环形保温罩(4)周向外侧设有与坩埚(5)相对应的加热器(6)，所述的炉体(1)上端设有氩气进气口(11)，下端设有若干氩气出气口(12)，所述的坩埚(5)和隔热托板(3)之间设有换热块(31)，其特征在于，换热块(31)上端和坩埚(5)之间设有呈圆盘状的石墨保温盘(51)，所述的石墨保温盘(51)上端抵靠在坩埚(5)底部，下端抵靠在换热块(31)上表面，且石墨保温盘(51)、坩埚(5)和换热块(31)三者之间同心设置，且所述的石墨保温盘(51)周向外侧设有若干石墨保温条(52)，且所述的石墨保温条(52)分别位于换热块(31)上端和坩埚(5)之间，且所述的石墨保温条(52)外端延伸至换热块(31)外侧且向上延伸形成紧贴于坩埚(5)周向外侧的竖直保温条(53)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的石墨保温条(52)均以石墨保温盘(51)的中心为圆心呈周向向外均匀发散设置。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的石墨保温条(52)的厚度大小和石墨保温盘(51)的厚度大小相等。

4.根据权利要求1或2或3所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的石墨保温条(52)、石墨保温盘(51)和竖直保温条(53)呈一体式结构。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的炉体(1)靠近氩气进气口(11)的一端的直径大小至另一端的直径大小逐渐变小，且所述的炉体(1)周向内侧和环形保温罩(4)周向外侧之间形成圆锥筒状的送气通道(7)，且所述的送气通道(7)靠近氩气进气口(11)的一端的直径至另一端直径逐渐变小，所述的环形保温罩(4)周向内侧和坩埚(5)周向外侧之间设有呈圆锥筒状的布气通道(8)，且所述的布气通道(8)靠近氩气进气口(11)一端的直径至另一端直径逐渐变大，且所述的环形保温罩(4)上设有能将送气通道(7)和布气通道(8)相互连通的连通结构(9)。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的炉体(1)周向内壁设有自上向下且呈螺旋状分布设置的螺旋导气凸条(13)，且所述的螺旋导气凸条(13)上端延伸至炉体(1)靠近氩气进气口(11)一端，另一端延伸至炉体(1)靠近氩气出气口(12)一端，所述的环形保温罩(4)上端通过弧形顶盖(41)封闭，且所述的弧形顶盖(41)朝向坩埚(5)一侧弯曲。

7.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的连通结构(9)包括设置在环形保温罩(4)上端周向外侧的第一连通孔(91)，所述的环形保温罩(4)下端周向外侧设有若干第二连通孔(92)，且所述的第一连通孔(91)和第二连通孔(92)分别位于加热器(6)两侧。

8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的环形保温罩(4)周向外壁呈竖直状且所述的环形保温罩(4)上端壁厚大小至下端的壁厚大小逐渐变小。

9.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的炉体(1)下端具有底板(14)，所述的氩气出气口(12)均匀设置在底板(14)周向外围，且所述的支撑柱(2)分别穿设于底板(14)上，所述的底板(14)上设有呈拱形且朝向隔热托板(3)的封闭盖体(15)，且所述的支撑柱(2)分别穿设于封闭盖体(15)上。

10.根据权利要求9所述的多晶硅铸锭节能炉，其特征在于，所述的氩气出气口(12)分别设置在封闭盖体(15)下端一侧，所述的封闭盖体(15)上端和隔热托板(3)不接触，且所述的封闭盖体(15)下端周向外侧和底板(14)周向密封。