[实用新型]无掩膜光刻机控制系统

权利要求书

1.一种无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；

所述电源主控电路分别与供电电源及所述工控机连接，用于控制所述工控机启动或关机；

所述工控机与所述IO控制板通信连接，所述IO控制板与所述第一服务器连接，所述工控机用于通过向所述IO控制板发送控制指令，控制所述第一服务器启动；

所述电源主控电路与所述服务器电源控制电路连接，所述服务器电源控制电路连接所述第一服务器，所述电源主控电路还用于通过所述服务器电源控制电路控制所述第一服务器关机。

2.根据权利要求1所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述电源主控电路包括工控机启动控制模块及关机控制模块；

所述工控机启动控制模块与所述工控机的ATX电源控制端连接，用于控制所述工控机启动；

所述工控机启动控制模块与所述关机控制模块并联；

所述关机控制模块与所述工控机的ATX电源控制端连接，用于控制所述工控机关机；

所述关机控制模块还与所述服务器电源控制电路连接，所述服务器电源控制电路与所述第一服务器的ATX电源控制端连接，用于配合所述关机控制模块控制所述第一服务器关机。

3.根据权利要求2所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述电源主控电路还包括反馈模块；

所述反馈模块分别与所述工控机的ATX电源输出端、所述第一服务器的ATX电源输出端、所述工控机启动控制模块及所述关机控制模块连接，所述反馈模块用于配合所述工控机启动控制模块在所述工控机启动后使所述关机控制模块保持断开。

4.根据权利要求3所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述工控机启动控制模块包括接触器KM1、继电器KA1及启动按钮开关SB1；

所述启动按钮开关SB1的第一端连接所述工控机的ATX电源控制端，第二端连接所述继电器KA1常开触点K12的第二端；

所述启动按钮开关SB1的第一端还连接所述供电电源的正极,第二端还与所述接触器KM1的线圈第一端连接，所述接触器KM1的线圈第二端用于连接所述供电电源的负极；

所述接触器KM1的常开触点KM11的第一端连接所述继电器KA1的常开触点K11的第一端，第二端连接所述接触器KM1的线圈第一端及所述继电器KA1的线圈第一端；

所述继电器KA1线圈的第二端接所述供电电源的负极；

所述继电器KA1的常开触点K11的第二端连接所述供电电源的正极；

所述继电器KA1的常开触点K12的第一端连接所述工控机的ATX电源控制端，第二端接地。

5.根据权利要求4所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述关机控制模块包括关机按钮开关SB2；

所述关机按钮开关SB2的第一端连接所述工控机的ATX电源控制端，第二端接地；

所述关机按钮开关SB2还接入所述服务器电源控制电路，当所述关机按钮开关SB2闭合时，用于控制所述服务器电源控制电路向所述第一服务器的ATX电源控制端发送关机信号。

6.根据权利要求5所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述服务器电源控制电路包括继电器KA2，所述IO控制板包括继电器J1；

所述继电器J1的第一端连接所述第一服务器的ATX电源控制端，第二端接地；

所述关机按钮开关SB2的第一端还连接所述第一服务器的ATX电源输出端；

所述继电器KA2的线圈第一端连接所述关机按钮开关SB2的第二端，第二端接地；

所述继电器KA2的触点K21的第一端连接所述第一服务器的ATX电源控制端，第二端接地。