[实用新型]一种砷烷气体吸收过滤系统

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。本实用新型提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。

背景技术

近几年来，由于半导体产业的蓬勃发展，作为必需原材料的砷烷气体也迎来快速发展。目前，国内制备砷烷厂家主要采用化学制备法，化学制备法工艺简单，原料易得，设备投资少，但是产物收率低，杂质含量高，需要经过复杂的精制处理后方可使用。国外的主流砷烷厂家通常使用电化学法，电化学法可在恒定浓度条件下产生砷烷，收率及纯度高，装置易于控制，相比于化学制备法有很明显的产能优势，同时也更有利于产品的系统集成。因此，电化学制备法将成为砷烷气体制备的主流方法，势必引起国内相关研发单位和生产企业的重点关注和优先发展。

在制备砷烷气体的试验过程中，目前还没有一套综合性能优良的尾气处理方案，用以吸收制备装置所产生的砷烷气体。由于砷烷气体无色，易燃，易爆的特性，如果防护不当，即使很小的流量，也可以造成很大的人体伤害。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种砷烷气体吸收过滤系统，能够在制备砷烷气体的试验过程中，安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种砷烷气体吸收过滤系统，包括电解槽、气体过滤装置以及手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽的出气口与第一输送管路的一端相连，所述第一输送管路的另一端穿过所述手套箱与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。

进一步地，还包括通风橱，所述手套箱和所述气体过滤装置均设置于所述通风橱中，所述气体过滤装置的出气口与第三输送管路的一端相连，所述第三输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。

进一步地，还包括设置于所述通风橱中的砷烷气体检测器，所述第一输送管路设有第一检测口，所述第一检测口通过第一检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。

具体地，所述手套箱设有第二检测口，所述第二检测口通过第二检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。

具体地，位于所述通风橱中的所述第三输送管路设有第三检测口，所述第三检测口通过第三检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。

具体地，所述通风橱中设有第四检测口，所述第四检测口通过第四检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。

具体地，所述砷烷气体检测器的出气口通过第四输送管路与所述第一输送管路相连。

具体地，所述第一输送管路上设有第一单向阀，所述第二输送管路上分别设有第一风机和第二单向阀，所述第三输送管路上设有第二风机。

具体地，所述气体过滤装置的进气口与稀释空气输送管路的一端相连，所述稀释空气输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。

具体地，所述电解槽的进气口与第一氮气管路相连，所述第一氮气管路依次穿过所述手套箱、所述通风橱与氮气源相连；所述手套箱设有氮气入口，所述氮气入口与第二氮气管路相连，所述第二氮气管路穿过所述通风橱与所述氮气源相连。

(三)有益效果