[实用新型]一种光电传感器装置及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201821775258.9 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN209166466U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 柴国敬;邝斌;王志海;陈金良;齐鹏飞;戴春田 | 申请（专利权）人： | 中山瑞科新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 李旭亮 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空腔体 视窗 筒体 光电传感器装置 真空镀膜设备 光电传感器 镀膜物质 本实用新型 光电传感器检测 内壁吸附 筒体内部 被筒体 积聚 背离 穿过 配置 | ||
1.一种光电传感器装置，其特征在于，包括：
筒体(10)，所述筒体(10)的内部开设有一贯穿整个筒体(10)的通道；
视窗件(20)，所述视窗件(20)设置于所述筒体(10)一端的开口处；
光电传感器(30)，所述光电传感器(30)设置于所述视窗件(20)背离所述筒体(10)的一侧表面上；
所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端可与真空镀膜设备相连接。
2.根据权利要求1所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述筒体(10)邻近所述视窗件(20)的一端处还设置有用于将所述视窗件(20)锁紧于该筒体(10)上的第一锁紧装置。
3.根据权利要求2所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述第一锁紧装置包括两块能够将所述视窗件(20)压紧于所述筒体(10)一端的端部上的第一压紧块(41)。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述视窗件(20)与所述筒体(10)之间设置有用于密封该视窗件(20)与所述筒体(10)之间的间隙的第一密封圈(51)。
5.根据权利要求4所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述筒体(10)的一端处设置用于放置所述第一密封圈(51)的第一凹槽(11)。
6.根据权利要求1所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端设置有用于将筒体(10)锁紧于真空镀膜设备上的第二锁紧装置。
7.根据权利要求6所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述第二锁紧装置包括两块能够将所述筒体(10)压紧于真空镀膜设备上的第二压紧块(42)；
所述筒体(10)邻近所述第二压紧块(42)的一端上设置有与所述第二压紧块(42)配合使用的凸缘部(12)。
8.根据权利要求1所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端设置有用于密封该筒体(10)与真空镀膜设备之间的间隙的第二密封圈(52)。
9.根据权利要求1所述的一种光电传感器装置，其特征在于：
所述筒体(10)为一直筒体。
10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括一真空腔体(60)，所述真空腔体(60)上配置有权利要求1-9任一项权利要求所述的光电传感器装置，所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端与所述真空腔体(60)相连接且与该真空腔体(60)的内部相连通。
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