[实用新型]一种28寸油扩散泵

说明书

本实用新型公开了一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体、冷却水管、法兰、进气口、一级喷嘴、喷嘴座、二级喷嘴、泵芯、二级导流管、三级喷嘴、四级喷嘴、三级导流管、出气口、加热器、底座以及扩散器，扩散泵主体外部固定安装设置有冷却水管，扩散泵主体顶端固定安装设置有法兰，法兰内部贯穿安装设置有进气口，法兰底端安装设置有一级喷嘴，一级喷嘴底端固定安装设置有喷嘴座，喷嘴座底端固定连接设置有泵芯，泵芯底部安装设置有二级喷嘴。本实用新型针对客户的前级阀门的口径设计为28英寸，结合加热时间和温度对加热器进行设计，结合真空管路以及前级泵的组装要求，对泵的外形尺寸进行设计，可满足同类型玻璃屏幕的镀膜要求。

技术领域

本实用新型涉及油扩散泵技术领域，特别是涉及一种28寸油扩散泵。

背景技术

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10^-4～10^-5帕，工作压力范围为10^-1～10^-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升＝10^-3立方米)。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

但是现有的油扩散泵不能针对手机屏幕玻璃以及Ipad等平板电脑的镀膜工艺以及镀膜设备进行了定向研发，满足不了客户所需的抽速及返油率；因此，我们提处一种28寸油扩散泵，主要针对手机屏幕玻璃以及Ipad等平板电脑的镀膜工艺以及镀膜设备进行了定向研发，针对新型的手机或平板电脑等新型电子设备的屏幕的镀膜要求进行了分析，制作出满足客户抽速及返油率的油扩散泵。实际抽速达到 11000L/S，极限真空度达到2.0E-5Pa。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种28寸油扩散泵，能解决现有的油扩散泵不能针对手机屏幕玻璃以及Ipad等平板电脑的镀膜工艺以及镀膜设备进行了定向研发，满足不了客户所需的抽速及返油率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种28寸油扩散泵，包括扩散泵主体、冷却水管、法兰、进气口、一级喷嘴、喷嘴座、二级喷嘴、泵芯、二级导流管、三级喷嘴、四级喷嘴、三级导流管、出气口、加热器、底座以及扩散器，所述扩散泵主体外部固定安装设置有冷却水管，所述扩散泵主体顶端固定安装设置有法兰，所述法兰内部贯穿安装设置有进气口，所述法兰底端安装设置有一级喷嘴，所述一级喷嘴底端固定安装设置有喷嘴座，所述喷嘴座底端固定连接设置有泵芯，所述泵芯底部安装设置有二级喷嘴，所述二级喷嘴底端固定连接设置有二级导流管，所述二级导流管底端固定连接设置有三级喷嘴，所述三级喷嘴底端固定安装设置有三级导流管，所述三级导流管底端固定安装设置有四级喷嘴，所述四级喷嘴底端固定安装设置有加热器，所述加热器底端固定安装设置有底座，所述底座中部安装设置有油锅支杆，所述加热器旁边安装设置有扩散器，所述扩散器一端连接设置有出气口，所述扩散器旁边安装设置有电控箱。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述扩散泵主体底部一侧固定安装设置有连接杆，所述连接杆底端安装设置有滑轮。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述油锅支杆旁边固定安装设置有热电偶。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述出气口内部安装设置有挡油片，所述挡油片设置有若干个。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述扩散器旁边固定安装设置有油标。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述法兰上等间隔距离贯穿设置有通孔。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述扩散泵主体底端安装设置有保温罩。

作为本实用新型的一种优选的技术方案，所述扩散泵主体表面安装设置有冷阱叶片，所述冷阱叶片采用旋压式制作。