[实用新型]蒸镀装置及其挡板机构

说明书

本实用新型涉及一种蒸镀装置及其挡板机构，该挡板机构在挡板上设置有收放装置，在收放装置设有收集薄膜且覆盖挡板的收集面，收放装置对收集薄膜进行收放，蒸镀工艺中收集薄膜上沉积了一定量的蒸镀材料之后，收放装置收放收集薄膜，使沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分卷收起来，而未沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分覆盖在挡板上进行沉积。如此，沉积的蒸镀材料不会随挡板的运动而发生脱落，避免了污染蒸镀装置的问题。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，特别是涉及一种蒸镀装置及其挡板机构。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode)具有自发光、广视角、对比度高、耗电低、响应速度极快等优点，被应用于新一代手机屏幕、电脑显示器、全彩电视等领域，受到人们的广泛关注。

目前，制作OLED器件的主流工艺，是在真空环境下，使用蒸镀装置，在基板上蒸镀各种功能层，形成OLED器件。在蒸镀形成OLED器件的功能层时，尤其是在一种功能层中包含了两种或者两种以上的材料时，需要对基板上沉积材料的速率及厚度进行监测和控制。传统蒸镀工艺过程中，蒸发源对蒸镀材料进行加热使蒸镀材料蒸出，一开始材料的蒸出速率不稳定，此时采用挡板挡住基板，待蒸出速率稳定时，再撤去挡板使材料沉积在基板上；当沉积在基板上的材料到达预设厚度时，再次采用挡板遮挡基板，蒸发源停止加热，材料的蒸出速率逐渐降为零。然而，在蒸镀过程中，当挡板上沉积的蒸镀材料积累到一定量时，随着挡板的机械运动，其上的蒸镀材料会发生脱落，导致蒸镀装置受到污染。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种蒸镀装置及其挡板机构，以解决传统的蒸镀装置中挡板上沉积的蒸镀材料容易随挡板的运动发生脱落而污染蒸镀装置的问题。

一种蒸镀装置的挡板机构，包括挡板、收放装置和收集薄膜，所述挡板的一端用于与蒸镀装置的蒸镀腔体连接，所述挡板具有收集面；所述收放装置设于所述挡板上，所述收集薄膜设于所述收放装置上且覆盖所述收集面，所述收集薄膜用于收集蒸镀材料，所述收放装置用于收放所述收集薄膜。

一种蒸镀装置，包括蒸镀腔体以及设置在所述蒸镀腔体内的基板支架和所述的挡板机构，所述基板支架连接于所述蒸镀腔体的顶部，所述挡板机构设置在所述基板支架的下方，所述挡板连接于所述蒸镀腔体的侧壁，且所述收集面背向所述基板支架设置。

与现有方案相比，本实用新型具有以下有益效果：

上述挡板机构以及设置有挡板机构的蒸镀装置，在挡板上设置有收放装置，在收放装置设有收集薄膜且覆盖挡板的收集面，收放装置对收集薄膜进行收放，蒸镀工艺中收集薄膜上沉积了一定量的蒸镀材料之后，收放装置收放收集薄膜，使沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分卷收起来，而未沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分覆盖在挡板上进行沉积。如此，沉积的蒸镀材料不会随挡板的运动而发生脱落，避免了污染蒸镀装置的问题。

附图说明

图1为一实施例的挡板机构的结构示意图；

图2为具有图1所示的挡板机构的蒸镀装置的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。