[实用新型]一种半导体晶棒熔炼拉晶装置

权利要求书

1.一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：包括熔炼机(1)、拉晶机(2)和冷却装置，所述冷却装置分别与熔炼机(1)、拉晶机(2)连接，所述熔炼机(1)包括熔炼炉(11)和熔炼机主体(12)，所述熔炼炉(11)内部设有熔炼腔(13)，所述熔炼炉(11)炉壁内设有电磁热丝(14)，所述熔炼炉(11)侧壁上设有炉口(15)，所述熔炼炉(11)两侧与支撑杆(16)转动连接，所述支撑杆(16)与所述熔炼机主体(12)固定连接，所述熔炼机主体(12)内部中空，所述熔炼机主体(12)内部设有摇摆电机(17)，所述摇摆电机(17)螺栓固定连接摇摆杆(18)的一端，所述熔炼机主体(12)顶部设有第一通孔(19)，所述摇摆杆(18)贯穿于所述第一通孔(19)，且所述摇摆杆(18)另一端与所述熔炼炉(11)铰链连接；

所述拉晶机(2)包括拉晶机壳体，所述拉晶机壳体包括保温壳(21)和外柜体(22)，所述外柜体(22)上层设有槽型区域(23)，所述保温壳(21)内嵌于所述槽型区域(23)内，所述保温壳(21)顶部固定有拉晶管(24)，所述外柜体(22)底部设有空腔(25)，所述空腔(25)与所述槽型区域(23)之间通过第二通孔(26)相连通，所述空腔(25)内设有伺服电机(27)和减速机(28)，所述伺服电机(27)的输出端与减速机(28)的输入端相连接，所述减速机(28)的输出端连接有升降丝杆(29)，所述升降丝杆(29)通过第二通孔(26)作用于槽型区域(23)内部，所述升降丝杆(29)上固定连接有升降板(210)，所述升降板(210)上与拉晶管(24)相对应的位置设置有炉槽(213)，所述炉槽(213)内放置有拉晶炉(211)，所述拉晶炉(211)设置有发热丝和温度传感芯片；所述冷却装置可为自然冷却装置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：所述熔炼机主体(12)上还设有电气控制板(100)，调试器(101)，停止按钮(102)，开始按钮(103)和温控仪表(104)，所述调试器(101)与所述摇摆电机(17)电连接，所述温控仪表(104)与所述电磁热丝(14)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：所述电磁热丝(14)四面环绕设置于所述熔炼炉(11)炉壁内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：所述拉晶管(24)为玻璃材质，所述拉晶炉(211)为石英材质。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：所述槽型区域两侧设置有相适配的柜门(212)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶棒熔炼拉晶装置，其特征在于：还包括控制机构，所述控制机构输出端与所述伺服电机(27)和所述摇摆电机(17)的输出端电连接。