[实用新型]一种PVD加热装置及设备

权利要求书

1.一种PVD加热装置，其特征在于，包括导电支撑机构、导电连接机构、电热元件和电热元件驱动单元；其中，

所述导电支撑机构安装在腔体上；

所述导电连接机构被设置为用于连接所述导电支撑机构和所述电热元件，以使得所述电热元件与所述导电支撑机构电连接；

所述电热元件驱动单元被设置为用于带动所述电热元件在腔体内移动。

2.根据权利要求1所述的PVD加热装置，其特征在于，所述导电支撑机构包括电源接头和第一导电支架，所述电源接头穿过所述腔体设置，且所述电源接头的一端与腔体的外部的电源连接，所述电源接头的另一端与所述第一导电支架固定连接；

所述第一导电支架位于腔体内，且所述第一导电支架与所述导电连接机构相连接。

3.根据权利要求2所述的PVD加热装置，其特征在于，所述导电支撑机构还包括绝缘固定件，所述绝缘固定件被设置为用于连接所述第一导电支架和腔体的内壁，以将所述第一导电支架固定在腔体内。

4.根据权利要求1所述的PVD加热装置，其特征在于，所述电热元件包括电阻件和底板，所述电阻件设置在底板上，所述底板与所述电热元件驱动单元驱动连接。

5.根据权利要求1至4任一项中所述的PVD加热装置，其特征在于，所述导电连接机构包括导电件；

所述导电件与所述导电支撑机构滑动配合连接。

6.根据权利要求5所述的PVD加热装置，其特征在于，所述导电连接机构还包括导电件支撑组件；

所述导电件支撑组件包括第一支撑件、弹性件和第二支撑件，所述第一支撑件与所述导电件固定连接，所述第二支撑件与所述电热元件固定连接；

所述第一支撑件和所述第二支撑件滑动配合连接，所述弹性件设于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间，以向所述第一支撑件提供朝向所述导电支撑机构的弹性力，使得所述导电件与所述导电支撑机构紧密接触。

7.根据权利要求6所述的PVD加热装置，其特征在于，所述第一支撑件包括第一支撑件主体和第一滑筒，所述第一支撑件主体与所述导电件固定连接，所述第一滑筒设于所述第一支撑件主体远离所述导电件的一端；

所述第二支撑件包括第二支撑件主体和第二滑筒，所述第二支撑件主体与所述电热元件固定连接，所述第一滑筒与所述第二滑筒滑动配合连接，且所述第一滑筒和所述第二滑筒构成弹性件腔，所述弹性件位于所述弹性件腔内。

8.根据权利要求7所述的PVD加热装置，其特征在于，所述第二滑筒内设有弹性件支撑块，所述弹性件的一端与所述弹性件支撑块相抵，所述弹性件的另一端与所述第一支撑件主体的端面相抵。

9.根据权利要求6所述的PVD加热装置，其特征在于，所述导电连接机构还包括第二导电支架，所述第二导电支架被设置为用于连接所述第二支撑件和所述电热元件。

10.一种PVD设备，其特征在于，包括腔体和权利要求1至9任一项中所述的PVD加热装置。