[实用新型]一种通用掩模夹具

说明书

本实用新型公开了一种通用掩模夹具，包括握把，握把内固定插接有收纳套筒，且收纳套筒端部处位于握把外部，收纳套筒设有两个，且每个收纳套筒内活动嵌设有伸缩杆，伸缩杆末端处固定安装有固定夹持接头，伸缩杆上活动嵌套有横移滑套，且横移滑套上固定安装有活动夹持接头，活动夹持接头与固定夹持接头内侧面均开设有夹持槽，且活动夹持接头的夹持槽与固定夹持接头夹持槽之间对应设置，本实用新型结构紧凑，使用方便，在夹取不同尺寸的掩模版时只需调动活动夹持接头，通过限位件进行固定就可直接夹取，无需更换不同种内的掩膜夹，方便、快捷，同时在使用过程中可同时夹持两个不同规格的掩模版并进行依次加工，有效提高了加工效率。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，具体为一种通用掩模夹具，属于掩模夹具技术领域。

背景技术

MASK(掩模):是半导体行业、IC(集成电路)制作时所需的一种模具，其是利用Mask上的图形，经曝光制成将图形复制于晶圆(Wafer)，Mask厂依据客户设计的图形，将图形数据转换后，利用Mask曝光机曝光在一种感光的石英基板上，经过显影制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形，掩模夹具的出现大大方便了掩模版的拿放，避免手动拿放掩模版后遗留手指印以及颗粒等污染物质。但是目前阶段的掩模夹具，存在诸多的不足之处，例如，对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用，需在Fab厂配备不同尺寸掩模的夹具，操作台夹具繁多，代价高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种通用掩模夹具。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种通用掩模夹具，包括握把，所述握把内固定插接有收纳套筒，且所述收纳套筒端部处位于所述握把外部，所述收纳套筒设有两个，且每个所述收纳套筒内活动嵌设有伸缩杆，所述伸缩杆末端处固定安装有固定夹持接头，所述伸缩杆上活动嵌套有横移滑套，且所述横移滑套上固定安装有活动夹持接头，所述活动夹持接头与所述固定夹持接头内侧面均开设有夹持槽，且所述活动夹持接头的所述夹持槽与所述固定夹持接头夹持槽之间对应设置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述横移滑套设有两个，且所述横移滑套上嵌设有限位件，所述限位件穿过所述横移滑套与所述伸缩杆端面紧密压合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伸缩杆上均匀分布有若干刻度线。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹持槽内内壁处固定设置有缓冲垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伸缩杆端部之间通过连接件固定连接。

本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型结构紧凑，使用方便，在夹取不同尺寸的掩模版时只需调动活动夹持接头，通过限位件进行固定就可直接夹取，无需更换不同种内的掩膜夹，方便、快捷，同时在使用过程中可同时夹持两个不同规格的掩模版并进行依次加工，有效提高了加工效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图中：1、握把，2、收纳套筒，3、伸缩杆，4、刻度线，5、横移滑套，6、活动夹持接头，7、限位销，8、固定夹持接头，9、夹持槽，10、缓冲垫，11、连接件。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例