[实用新型]高温铝基板加热器及真空加热设备

权利要求书

1.一种高温铝基板加热器，其特征在于，包括：第一铝板、第二铝板、第一加热丝、第二加热丝、第三加热丝、两根第一非发热丝、两根第二非发热丝和两根第三非发热丝；

所述第一铝板上设有第一埋线槽、第二埋线槽、第三埋线槽；

所述第一铝板一侧设有开口；

所述第一埋线槽从所述开口起始并向所述第一铝板延伸，以第一间距均匀盘绕，并继续延伸至所述开口；

所述第二埋线槽从所述开口起始并向所述第一铝板延伸，以第二间距均匀盘绕，并继续延伸至所述开口，所述第二埋线槽位于所述第一埋线槽的外侧；

所述第三埋线槽从所述开口起始并向所述第一铝板延伸，以第三间距均匀盘绕，并继续延伸至所述开口，所述第三埋线槽位于所述第二埋线槽的外侧；

所述第三间距小于所述第二间距，所述第二间距小于所述第一间距；

所述第一加热丝设置在所述第一埋线槽内，以形成第一加热区域；

所述第二加热丝设置在所述第二埋线槽内，以形成第二加热区域；

所述第三加热丝设置在所述第三埋线槽内，以形成第三加热区域；

所述第二铝板叠设在所述第一铝板上，使所述第一加热丝、第二加热丝、第三加热丝位于所述第二铝板与所述第一铝板之间；

所述两根第一非发热丝的一端分别与所述第一加热丝的两端电性连接，所述两根第一非发热丝的另一端用于外接电源；

所述两根第二非发热丝的一端分别与所述第二加热丝的两端电性连接，所述两根第二非发热丝的另一端用于外接电源；

所述两根第三非发热丝的一端分别与所述第三加热丝的两端电性连接，所述两根第三非发热丝的另一端用于外接电源。

2.根据权利要求1所述的高温铝基板加热器，其特征在于，所述第一铝板和所述第二铝板均为正方形板；

所述第一埋线槽沿所述开口向前延伸，呈方型以第一间距等距离平齐向里缠绕，并继续延伸至所述开口；

所述第二埋线槽沿所述开口向前延伸，呈方型以第二间距等距离平齐缠绕在所述第一埋线槽的外侧，且所述第二间距小于所述第一间距；

所述第三埋线槽沿所述开口向前延伸，呈方型以第三间距等距离平齐缠绕在所述第二埋线槽的外侧，且所述第三间距小于所述第二间距。

3.根据权利要求2所述的高温铝基板加热器，其特征在于，还包括：多个六角螺丝；

所述第一铝板上设有多个安装孔，所述第二铝板上设有与所述多个安装孔对应的通孔，所述多个六角螺丝设置在所述多个安装孔和所述通孔中，使所述第一铝板和所述第二铝板固定连接。

4.根据权利要求1所述的高温铝基板加热器，其特征在于，所述第一加热丝、所述第二加热丝和所述第三加热丝的直径均为5～7mm。

5.根据权利要求1所述的高温铝基板加热器，其特征在于，还包括：三个热电偶；

所述三个热电偶分别设置在所述第一加热区域、所述第二加热区域和所述第三加热区域，用于分别检测所述第一加热区域、所述第二加热区域和所述第三加热区域的温度。

6.一种真空加热设备，其特征在于，包括：真空箱体、箱盖和权利要求5中所述的高温铝基板加热器；

所述真空箱体设有容置内腔且所述容置内腔在所述真空箱体的一侧形成开口，所述箱盖用于盖合所述开口；

所述高温铝基板加热器位于所述容置腔体内。

7.根据权利要求6所述的真空加热设备，其特征在于，还包括：多根第一支撑柱和多根第二支撑柱；

所述多根第一支撑柱呈阵列均匀设置在所述真空箱体的底端，所述多根第二支撑柱分别对称设置在所述真空箱体的底端；

所述多根第一支撑柱的顶端均设有台阶，所述第一铝板底端设有与所述台阶对应的凹槽，所述台阶伸入所述凹槽使所述高温铝基板加热器固定设置在所述多根第一支撑柱上，所述多根第二支撑柱的顶端与所述第一铝板的底端抵持，使所述高温铝基板加热器固定设置在所述真空箱体内。