[实用新型]蒸镀掩模装置

说明书

蒸镀掩模装置具有：蒸镀掩模，其包含从位于基板侧的第1面至位于第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及框架，其设置有与蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对蒸镀掩模进行支承。

技术领域

本实用新型的一个实施方式涉及蒸镀掩模装置，其具有形成有多个贯通孔的蒸镀掩模和对蒸镀掩模进行支承的框架。

背景技术

近年来，对于在智能手机或平板电脑等可携带的设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，在可携带的设备中，应对超高清(UHD)的需要也在提高，这种情况下，要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。

在显示装置中，有机EL显示装置由于响应性良好、功耗低、对比度高而备受关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知有使用形成有以期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模以期望的图案形成像素的方法。具体而言，进行如下蒸镀工序：首先使蒸镀掩模与有机EL显示装置用的基板密合，接着将密合后的蒸镀掩模和基板一起放入蒸镀装置中，使有机材料蒸镀至基板。这种情况下，为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置，要求按照设计精密地再现蒸镀掩模的贯通孔的位置及形状。

进行使有机材料等蒸镀材料蒸镀至基板的蒸镀工序的蒸镀装置具有蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置包含蒸镀掩模和对蒸镀掩模进行支承的框架。框架在使蒸镀掩模拉伸的状态下支承蒸镀掩模，以使得蒸镀掩模不发生挠曲。蒸镀掩模通过焊接、粘接、镀覆、锡焊或压接等固定于框架。并且，在这样的蒸镀掩模装置中设置有基板，进行蒸镀工序。

专利文献1：日本专利第5382259号公报

专利文献2：日本特开2001-234385号公报

但是，当在蒸镀掩模装置中设置基板时，有时对基板进行保持的保持部件和框架发生干涉。这种情况下，认为难以将基板设置于期望的位置，无法将蒸镀材料蒸镀至基板的期望的位置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够有效地解决这样的课题的蒸镀掩模装置。

本实用新型的一个实施方式是蒸镀掩模装置，其至少临时与保持部件所保持的基板组合，其中，该蒸镀掩模装置具有：蒸镀掩模，其包含从位于所述基板侧的第1面至位于所述第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及框架，其设置有与所述蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对所述蒸镀掩模进行支承，所述框架具有：正面，其面向所述蒸镀掩模的所述第2面；背面，其与所述正面对置；外侧面，其在所述正面与所述背面之间扩展；以及内侧面，其面向所述开口部，在比所述外侧面靠内侧的位置在所述正面与所述背面之间扩展，在所述框架的所述正面中的远离所述开口部的位置形成有能够收纳所述保持部件的至少一部分的多个收纳部。

在本实用新型的一个实施方式的蒸镀掩模装置中，也可以是多个所述收纳部形成于所述开口部与所述外侧面之间。

在本实用新型的一个实施方式的蒸镀掩模装置中，也可以是多个所述收纳部延伸至所述外侧面。

在本实用新型的一个实施方式的蒸镀掩模装置中，也可以是所述框架的所述正面包含：第1正面，其位于所述内侧面侧；以及第2正面，其位于所述外侧面侧并且位于比所述第1正面靠所述背面侧的位置，所述第1正面与所述第2正面经由中间面而相互连结，所述收纳部形成于所述第1正面并且延伸至所述中间面。

在本实用新型的一个实施方式的蒸镀掩模装置中，也可以是多个所述收纳部形成为围绕所述开口部。

在本实用新型的一个实施方式的蒸镀掩模装置中，也可以是所述蒸镀掩模包含焊接于所述框架的所述正面的接合部，所述接合部的至少一部分位于所述开口部与所述收纳部之间。

在本实用新型的一个实施方式的蒸镀掩模装置中，也可以是各个所述收纳部的至少一部分形成于比所述蒸镀掩模的长度方向上的一对端部靠内侧的位置。