[实用新型]一种整体式显影槽

说明书

本实用新型公开了一种整体式显影槽，包括机架、水泵、电控箱、显影槽体、循环入口管板、循环出口板和过滤器，所述机架底端设有水泵，所述机架侧端设有电控箱，所述机架顶端设有显影槽体，所述显影槽体的两侧板上分别设有循环入口管板、循环出口板，所述循环入口管板、循环出口板上分别开设有与显影槽体相连通的循环入口管、加热器口和循环出口、温控口，所述显影槽体的另一侧板上设有过滤器；所述循环入口管与所述水泵入口相连通，所述水泵出口与所述过滤器相连通，所述过滤器再与所述显影槽体相连通，所述显影槽体与所述循环出口相连通。本实用新型提供的一种整体式显影槽，在显影过程中不会受环境温度的影响。

技术领域

本实用新型涉及一种显影槽，尤其是一种整体式显影槽。

背景技术

显影槽是用于装载显影液的容器。显影是工艺流程中一个重要环节，将会影响mask图形制作中的CD精度、缺陷数量等关键的技术指数。市场上采用的显影装置，一方面原始显影装置如塑料桶在显影过程中，会受环境温度的影响，重复使用过程中溶液中杂质也会产生不良影响；另一方面，改进的显影装置由多个装置组成，占用空间，使用不方便。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种整体式显影槽。

本实用新型的技术方案为：一种整体式显影槽，包括机架、水泵、电控箱、显影槽体、循环入口管板、循环出口板和过滤器，所述机架底端设有水泵，所述机架侧端设有电控箱，所述机架顶端设有显影槽体，所述显影槽体的两侧板上分别设有循环入口管板、循环出口板，所述循环入口管板、循环出口板上分别开设有与显影槽体相连通的循环入口管、加热器口和循环出口、温控口，所述显影槽体的另一侧板上设有过滤器；所述循环入口管与所述水泵入口相连通，所述水泵出口与所述过滤器相连通，所述过滤器再与所述显影槽体相连通，所述显影槽体与所述循环出口相连通。

优选地，所述显影槽体的两侧板开设有成流孔，其成流孔对应的位置上分别罩设有循环入口管板、循环出口板。

优选地，所述循环入口管板为框形槽体结构，其框形槽体开口。

优选地，所述循环出口板为框形槽体结构，其框形槽体开口。

优选地，所述显影槽体的底端开设有排污口和入水口。

优选地，所述机架的顶端四角位置开设有十字形凹槽，所述显影槽体的底端四角位置对应设有十字形凸部，所述十字形凸部相契卡设于所述十字形凹槽内。

优选地，所述循环入口管箱板、循环出口箱板的顶端均设有连接板，所述连接板底面设有十字形凸部。

优选地，所述过滤器的顶端均设有连接板，所述连接板底面设有十字形凸部。

优选地，所述显影槽体的侧板上分别设有固定板，所述显影槽体的侧板和固定板上均开设有十字形凹槽，所述固定板上放置有循环入口管箱板、循环出口箱板和过滤器，且所述十字形凹槽内相契卡设有所述连接板的十字形凸部。

优选地，所述连接板为L型，L型连接板的底面均设有十字形凸部。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型一种整体式显影槽，一方面，相较于原始的塑料桶，在显影过程中不会受环境温度的影响，重复使用过程中溶液杂质也会产生不良影响；另一方面，本显影装置将多个装置改进为整体式结构，各部件也可以十字形凸部和十字形凹槽实现拆卸，既不占用空间，尺寸小，又使用非常方便。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的立体结构示意图。

图3为本实用新型的显影槽体结构示意图。

图4为本实用新型的连接板和固定板结构示意图。

图5为本实用新型的原理图。