[实用新型]光源系统

说明书

本实用新型公开一种光源系统，包括发光装置、第一镜头以及第二镜头。发光装置适于提供光束。第一镜头设置于光束的传递路径上。第二镜头设置于光束的传递路径上。第一镜头位在发光装置与第二镜头之间，其中光束经第一镜头沿第一方向传递，光束经第二镜头的反射而沿第二方向传递。第一方向不同于第二方向。因此，可进行大面积照射而不需额外配置平场透镜组，且能减少设备体积。

技术领域

本实用新型涉及一种光学系统，且特别涉及一种光源系统

背景技术

在目前制作半导体元件的技术中，由于半导体元件的尺寸逐渐变小，因此在制作过程中常使用暂时性接合工艺，将半导体元件透过黏着层接合至暂时衬底以方便半导体元件的制作。当半导体元件制作完成时，则对黏着层照射激光以进行半导体元件与暂时衬底的分离工艺。

一般而言，提供激光的装置必须配置平场透镜组(F-Theta lenses)以使激光可顺利照射至半导体元件处的平面上。然而，这将使得提供激光的装置体积无法缩小。若需要照射大面积的样品，则将使得装置体积过于庞大。除此之外，在尺寸较小的半导体元件中，目前激光装置的应用范围也越来越受尺寸因素限制，例如是尺寸较小的半导体元件容易有翘曲的问题。因此，如何设计出可不需配置平场透镜组以减少体积，且同时可避免半导体元件翘曲而降低精准度的光源装置，是本领域技术人员致力于研究的。

实用新型内容

本实用新型提供一种光源系统，可进行大面积照射而不需额外配置平场透镜组，且能减少设备体积。

本实用新型的光源系统包括发光装置、第一镜头以及第二镜头。发光装置适于提供光束。第一镜头设置于光束的传递路径上。第二镜头设置于光束的传递路径上。第一镜头位在发光装置与第二镜头之间，其中光束经第一镜头沿第一方向传递，光束经第二镜头的反射而沿第二方向传递。第一方向不同于第二方向。

在本实用新型的实施例中，上述的第一方向垂直于第二方向。

在本实用新型的实施例中，上述的发光装置为激光装置。

在本实用新型的实施例中，上述的光束经第二镜头反射至投影空间。

在本实用新型的实施例中，上述的第一镜头调整光束在投影空间中水平方向的焦点位置。

在本实用新型的实施例中，上述的第二镜头调整光束在投影空间中垂直方向的焦点位置。

在本实用新型的实施例中，上述的光源系统符合公式(1)A>40B以及(2)2B>C>0，其中A为光束与投影空间中参考面之间的距离，B为第一镜头与第二镜头之间的距离，Z为投影空间中垂直于参考面的距离。

在本实用新型的实施例中，上述的第一镜头包括聚焦镜组，适于在光束的传递路径上移动以调整光束的焦点位置。

在本实用新型的实施例中，上述的光源系统还包括控制器，电性连接于第一镜头，适于控制聚焦镜组在光束的传递路径上移动。

在本实用新型的实施例中，上述的第二镜头包括第一反射装置及第二反射装置，其中第一反射装置适于沿第二方向转动以调整光束的焦点位置，第二反射装置适于沿第一方向转动以调整光束的焦点位置。

在本实用新型的实施例中，上述的光源系统还包括控制器，电性连接于第二镜头，适于控制第一反射装置沿第二方向转动，以及控制第二反射装置沿第一方向转动。

基于上述，在本实用新型的实施例中，发光装置，适于所提供的光束通过第一镜头沿第一方向传递，以及通过第二镜头的反射而沿不同于第一方向的第二方向传递。因此，不需额外配置平场透镜组，可进一步降低系统高度而减少设备体积，同时避免容易因系统过高而产生震动的问题。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明