[实用新型]射频输入耦合器

权利要求书

1.一种射频输入耦合器，其特征在于：所述射频输入耦合器包括耦合器本体和陶瓷窗，所述耦合器本体和所述陶瓷窗之间采用分离式结构；所述耦合器本体包括内导体和外导体，所述内导体的侧壁内部设有蛇形流道，所述外导体的内部设有蛇形流道，所述外导体上设有冷却介质进口和冷却介质出口；所述内导体和所述外导体之间以耦合环相连接，所述耦合环内部设有用于连通所述内导体内部蛇形流道和所述外导体内部蛇形流道的耦合环流道；所述陶瓷窗为平板型陶瓷窗，包括陶瓷窗内导体、陶瓷窗外导体和陶瓷片。

2.根据权利要求1所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述内导体上与所述陶瓷窗的连接端设有圆锥形变径段。

3.根据权利要求1所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述外导体上与所述陶瓷窗的连接端设有圆锥形变径段。

4.根据权利要求1-3任一项所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述耦合环为U形。

5.根据权利要求1所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述陶瓷窗内导体或所述陶瓷窗外导体上设有圆锥形变径段。

6.根据权利要求1-3、5任一项所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述耦合器本体与所述陶瓷窗之间采用法兰连接。

7.根据权利要求1-3、5任一项所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述耦合器本体材质为无氧铜。

8.根据权利要求1-3、5任一项所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述陶瓷窗除所述陶瓷片以外的材质为无氧铜。

9.根据权利要求1所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述陶瓷片的材质为质量百分比纯度99％的氧化铝陶瓷。

10.根据权利要求1-3、5、9任一项所述的射频输入耦合器，其特征在于：所述外导体外部设有真空活套法兰。