[实用新型]一种辅助装卸镀膜机离化源的装置有效
| 申请号： | 201821808838.3 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209854238U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 刘玉杰 | 申请（专利权）人： | 天津涂冠科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 11640 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵登阳 |
| 地址： | 300000 天津市津南*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离化源 滑动轨道 升降支架 支架 本实用新型 移动载体 镀膜机 高空作业 辅助安装 密封胶圈 密封失效 生产操作 操控器 无障碍 靶材 推车 机械化 装卸 错位 损伤 力量 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种辅助装卸镀膜机离化源的装置，包括移动载体推车(1)、离化源(7)和靶材座(8)，其特征在于，所述移动载体推车(1)上设有升降支架滑动轨道(2)和操控器(3)，所述升降支架滑动轨道(2)上设有升降支架(4)，所述升降支架(4)上设有离化源支架滑动轨道(5)，所述离化源支架滑动轨道(5)上设有放置离化源支架(6)，所述升降支架(4)和放置离化源支架(6)均与操控器(3)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置，其特征在于，所述放置离化源支架(6)在离化源支架滑动轨道(5)上水平前后滑动。
3.根据权利要求1所述的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置，其特征在于，所述升降支架(4)在升降支架滑动轨道(2)上水平前后滑动。
4.根据权利要求1所述的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置，其特征在于，所述移动载体推车(1)上配备自动刹车装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津涂冠科技有限公司，未经天津涂冠科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821808838.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型的点式蒸发源
- 下一篇：一种薄膜沉积工艺控制系统
- 同类专利
- 专利分类
