[实用新型]一种高反射镜表面疵病参数表征装置有效
| 申请号： | 201821809219.6 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209086170U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 高爱华;侯劲尧;刘卫国;闫丽荣;江坤 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958;G01N21/47;G01N21/01;G01B11/00;G01B11/22 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 积分球 本实用新型 表面疵病 参数表征 待测样品 高反射镜 遮光筒 散射 陷光 检测 半导体激光器 积分球探测器 对称设置 二维信息 黑化处理 显微镜头 组件设置 激光器 顶盖 可移动 率测量 上顶盖 样品座 探测器 夹设 外壁 显微 耗时 | ||
【权利要求书】：
1.一种高反射镜表面疵病参数表征装置，其特征在于：由积分球（6）、积分球探测器（5）、CCD成像组件、半导体激光器（1）和陷光器（11）组成，所述CCD成像组件由CCD相机（3）、显微镜头（4）和遮光筒（16）组成，遮光筒（16）内部进行黑化处理，积分球（6）上设置有可移动的顶盖（8），待测样品（7）夹设于样品座（13）和积分球（6）上顶盖（8）相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品（7）的正上方，激光器（1）和陷光器（11）对称设置于CCD相机的两侧，所述积分球（6）上设置有探测器（5）。
2.根据权利要求1所述的高反射镜表面疵病参数表征装置，其特征在于：所述激光器（1）的入射光路上设置有光束整形组件（2）。
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